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刘安金
作品数:
64
被引量:18
H指数:2
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
郑婉华
中国科学院半导体研究所
周文君
中国科学院半导体研究所
陈微
中国科学院半导体研究所
邢名欣
中国科学院半导体研究所
陈良惠
中国科学院半导体研究所
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8篇
2009
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一种单模大功率低发散角的光子晶体垂直腔面发射激光器
本发明涉及半导体光电子器件技术领域,公开了一种单模大功率低发散角的光子晶体垂直腔面发射激光器,该光子晶体垂直腔面发射激光器由下至上依次由下电极、n型衬底、下DBR、有源层、氧化层、面刻光子晶体图形的缺陷腔结构、环形出光区...
郑婉华
刘安金
王科
渠宏伟
邢名欣
陈微
周文君
文献传递
一种消除群速度色散的慢光效应光子晶体波导结构
本发明公开了一种消除群速度色散的慢光效应光子晶体波导结构,包括纵向结构及横向结构,其中,纵向结构为一种空气桥多层结构,从顶层到底层依次为空气层/半导体材料层/空气层/衬底材料层;横向结构是一光子晶体波导,该光子晶体波导设...
张冶金
郑婉华
邢名欣
周文君
陈微
刘安金
文献传递
用于改善条形激光器侧向远场的光子晶体波导的制作方法
一种用于改善条形激光器侧向远场的光子晶体波导的制作方法,包括如下步骤:步骤1:取一衬底;步骤2:在衬底上依次生长下限制层、有源区和上限制层,形成横向波导结构;步骤3:采用感应耦合等离子体刻蚀的方法对上限制层进行刻蚀,在上...
郑婉华
陈微
周文君
刘安金
付非亚
张建心
渠红伟
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高反射率高带宽的亚波长光栅反射镜的制作方法
本发明提供一种高反射率高带宽的亚波长光栅反射镜的制作方法,包括如下步骤:步骤1:取一衬底;步骤2:在该衬底上依次生长材料层、介质层和金属层,在介质层和金属层界面处能够激发表面等离子体模式;步骤3:采用感应耦合等离子体刻蚀...
刘安金
陈微
周文君
付非亚
王宇飞
郑婉华
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一种双面键合长波长垂直腔面发射激光器及其制作方法
本发明是一种双面键合长波长垂直腔面发射激光器(VCSEL)及其制作方法。所述激光器包括N电极(1),N型GaAs衬底(2),N型GaAs/AlGaAs材料系的下分布布拉格反射镜(DBR)(3),InP基应变量子阱有源区(...
渠红伟
郑婉华
刘安金
王科
张冶金
彭红玲
陈良惠
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单模直调垂直腔面发射激光器研究进展
被引量:14
2020年
垂直腔面发射激光器(VCSEL)具有尺寸小、功耗低、效率高、调制带宽大、寿命长、圆形光束、在片测试、易于二维阵列排列等优点,广泛应用于数据通信、传感、激光雷达、材料加工等领域。这些应用通常要求VCSEL具有优异的模式、速率、能效、高温性能等。人们基于“分离”限制思路发展了多种单模新型氧化限制VCSEL。采用新型VCSEL结构、改善有源区性能、减小寄生效应和减小热效应等方法,VCSEL在速率、功耗、高温性能等方面取得了显著进展。光子超结构具有优异的性能,它为VCSEL控制模式和光场,以及其和平面光子回路的集成提供了新思路。
刘安金
关键词:
激光器
垂直腔面发射激光器
单模
调制速率
单模低发散角光子晶体垂直腔面发射激光器
垂直腔面发射激光器(VCSEL)广泛应用于光通信、光互联、激光打印、环境检测、原子钟、激光鼠标等领域。然而这些应用要求vCSEL单模工作。目前,实现单模VCSEL方法有多种,如缩小氧化孔径、表面刻蚀结构、反波导结构、三角...
刘安金
渠红伟
陈微
周文君
邢名欣
郑婉华
关键词:
光子晶体
垂直腔面发射激光器
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一种单模大功率低发散角的光子晶体垂直腔面发射激光器
本发明涉及半导体光电子器件技术领域,公开了一种单模大功率低发散角的光子晶体垂直腔面发射激光器,该光子晶体垂直腔面发射激光器由下至上依次由下电极、n型衬底、下DBR、有源层、氧化层、面刻光子晶体图形的缺陷腔结构、环形出光区...
郑婉华
刘安金
王科
渠宏伟
邢名欣
陈微
周文君
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光子晶体啁啾波导慢光边发射激光器
本发明公开了一种光子晶体啁啾波导慢光边发射激光器,由制作于半导体芯片上的空气孔型光子晶体结构构成,分为三个部分,左边部分为慢光波导结构,用来产生激光;右端为输出波导结构,该输出波导结构内侧相邻的两行空气孔的直径都略小于周...
郑婉华
邢名欣
任刚
刘安金
陈微
周文君
陈良惠
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一种面发射激光器及其制作方法
本公开提供了一种面发射激光器及其制作方法,面发射激光器包括一悬浮型光栅,悬浮型光栅的制作方法包括:S1,在衬底上依次形成牺牲层和高折射率差亚波长光栅层,牺牲层所用材料为GaInP;S2,刻蚀高折射率差亚波长光栅层,得到光...
刘安金
张靖
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