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刘永生

作品数：6 被引量：13H指数：3
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文期刊文章

领域

  • 5篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 6篇力传感器
  • 6篇感器
  • 6篇传感
  • 6篇传感器
  • 5篇原子力显微镜
  • 2篇微机械
  • 2篇微机械加工
  • 2篇显微镜
  • 2篇固有频率
  • 2篇AFM
  • 1篇湿法腐蚀
  • 1篇探针
  • 1篇离子刻蚀
  • 1篇刻蚀
  • 1篇反应离子
  • 1篇反应离子刻蚀

机构

  • 6篇清华大学

作者

  • 6篇李庆祥
  • 6篇刘永生
  • 6篇薛实福
  • 4篇于水
  • 4篇徐毓娴
  • 2篇高宏
  • 1篇王晓晔
  • 1篇高宏

传媒

  • 2篇光学精密工程
  • 1篇仪器仪表学报
  • 1篇中国机械工程
  • 1篇仪表技术与传...
  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇1997
  • 2篇1996
  • 3篇1995
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
原子力显微镜的力传感器被引量：4
1995年
原子力显微镜已成为人们观测和研究物体微观世界的强有力工具，由悬臂梁与探针集成件（Ｃａｎｔｉｌｅｖｅｒｓｔｙｌｕｓ）组成的力传感器是原子力显微镜的一个关键部件，它的结构和性能直接影响原子力显微镜的性能、测量分辨率和测试图象质量。本文着重介绍了原子力显微镜基本工作原理、对力传感器的要求、力传感器的结构和设计、力传感器的微机械加工以及其主要性能测试等问题。
薛实福刘永生李庆祥高宏徐毓娴于水
关键词：原子力显微镜探针力传感器
原子力显微镜（AFM）力传感器及其固有频率的测试被引量：4
1995年
由悬臂梁与探针集成件（Ｃａｎｔｉｌｅｖｅｒｓｔｙｌｕｓ）组成的力传感器是原子力显微镜的一个关键部件，固有频率（ｒｅｓｏｎａｎｔｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）是悬臂梁与探针集成件的一个重要技术指标，本文介绍了对力传感器的要求、力传感器的设计、检测力传感器的方法，着重介绍了一种采用光学象散原理组成的传感器的固有频率测试系统与方法。
薛实福刘永生李庆祥高宏于水
关键词：力传感器原子力显微镜固有频率
原子力显微镜传感器的微机械加工技术的研究被引量：3
1997年
分析了现有的ＡＦＭ力传感器的工艺特点及问题。在此基础上研究用ＫＯＨ溶液两步法Ｐ＋自停止腐蚀制作厚度精确可控的单晶硅悬臂梁；以ＳｉＯ２为掩模，ＳＦ６刻蚀硅，用ＲＩＥ与各向同性湿法化学腐蚀相结合使悬臂梁探针一次成形和用湿法腐蚀锐化探针，针尖半径约５０ｎｍ。制定了适于批量生产的ＡＦＭ力传感器加工工艺。
薛实福徐毓娴李庆祥王晓晔刘永生于水
关键词：微机械加工显微镜力传感器
AFM力传感器微机械加工技术的研究被引量：2
1996年
本文介绍了力传感器微机械加工工艺路线，对ＫＯＨ腐蚀硅的硅膜厚度控制进行了实验研究，以ＳＩＯ２为掩膜，ＳＦ６刻蚀硅，实现了悬臂梁探针一次成形，并用湿法腐蚀对探针进行初步锐化，针尖半径约５０ｎｍ。
李庆祥徐毓娴薛实福刘永生
关键词：力传感器微机械加工湿法腐蚀反应离子刻蚀
原子力显微镜力传感器的设计被引量：2
1995年
着重介绍原子力显微镜力传感器的要求和力传感器设计的有关问题，并提供一种用图表设计结构尺寸的方法。
薛实福刘永生李庆祥高宏徐毓娴于水
关键词：原子力显微镜力传感器显微镜
用象散法测试原子力显微镜力传感器的固有频率
1996年
原子力显微镜已成为人们观测和研究物体微观世界的强有力的工具.由悬臂梁与探针集成的力传感器是原子力显微镜的一个关键部件,而固有频率是其一个主要技术参数.本文介绍了一种采用光学象散原理测试原子力显微镜的力传感器固有频率测试系统的原理、组成和测试方法.
薛实福刘永生李庆祥
关键词：原子力显微镜固有频率传感器
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