卫斌
- 作品数：17 被引量：9H指数：3
- 供职机构：北京工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金北京市自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术电子电信金属学及工艺理学更多>>
- 纳米异质外延层与衬底的晶体取向匹配的电子背散射衍射分析
- 2010年
- 本文采用电子背散射衍射(EBSD),测量纳米异质外延层的织构,及外延层与衬底的晶体取向匹配。测试的材料包括作为YBCO超导膜的过渡层、生长在强立方织构Ni-5at.%W(Ni-W)衬底上的La2Zr2O7(LZO)外延层,及LED器件中生长在蓝宝石衬底上的GaN过渡层和外延层。EBSD测量出LZO外延层具有旋转立方织构,显示出LZO与Ni-W衬底的面内取向(转动45°)及面外取向(沿[001]方向)的匹配关系。EBSD测量出GaN过渡层与蓝宝石衬底的面内取向(转动30°)的匹配关系,显示出由GaN过渡层的晶格畸变而引入的平行于外延生长方向的弹性应变梯度(约500 nm)。
- 吉元王丽张隐奇卫斌索红莉王建宏程艳玲
- 关键词：外延层LA2ZR2O7GAN
- 电子束辐照对氧化锌纳米线I-V特性的影响被引量：4
- 2008年
- 在扫描电镜中,采用纳米微操纵仪构成一个2探针电流-电压(I-V)测试装置。测试了单根ZnO纳米线接触钨电极构成的金属-半导体-金属(M-S-M)结的I-V特征曲线。ZnO纳米线的I-V曲线呈现出较弱的肖特基特性。研究了电子束辐照对ZnO纳米线的I-V曲线的影响。30 keV电子束辐照使ZnO纳米线的总电阻减小。计算得到ZnO纳米线的电导率σ=0.24S/cm,载流子浓度n=1.64×1016cm-3。为了对比,还测试了单根碳纤维接触钨电极的I-V特征曲线。在30 keV电子束辐照下,碳纤维的总电阻保持不变,电导率σ=22 S/cm。
- 卫斌吉元王丽张隐奇张小玲吕长志张跃飞
- 关键词：电子束辐照扫描电镜ZNO纳米线
- ZnO纳米线单轴应变加载下能带调控规律的研究
- 本文在扫描电镜中搭建了结合阴极荧光技术的原位拉伸设备，研究了氧化锌在单轴拉伸下的能带变化规律，为能带-应变工程在宽禁带半导体中的应用打下基础。
- 卫斌郑坤吉元张跃飞韩晓东张泽
- 关键词：氧化锌纳米线力学性能扫描电镜
- 文献传递
- 扫描电镜中纳米材料的原位操纵和动态观察被引量：4
- 2008年
- 介绍了配置在扫描电镜(SEM)中的微操纵仪(MMS)的操作原理、性能及应用.MMS在水平转动(X轴),上下转动(Y轴)和线性进退(Z轴)的移动精度分别达到5,3.5,0.25nm.利用具有纳米精度的移动和定位的MMS,对BiVO_4晶体、硅藻土、蛋白石和ZnO纳米线等纳米材料进行了原位操纵和动态观察.该装置可操纵质量为纳克级,尺寸为几百纳米至几微米的样品.SEM-MMS系统为原位分析纳米材料提供了一种崭新的手段.
- 吉元王丽卫斌张隐奇徐学东程文海
- 关键词：蛋白石纳米线
- 低维半导体材料的原位应变技术及应变调控的阴极荧光谱研究
- 本论文依托课题组承担的国家973项目(2009CB623700)和国家自然科学基金项目(50831001)，研究低维材料（纳米线，微米线，量子点等）的力学和发光性能，以及应变调控的光谱演变规律，从而发展新材料和新应用。 ...
- 卫斌
- 关键词：激子氧化锌纳米线
- 水溶性晶体生长的原位环境扫描电镜研究
- 2012年
- 采用环境扫描电镜（ESEM）,原位观察了水溶性晶体NaCl和KH2PO4的溶解-结晶过程。研究了ESEM的水湿环境（压力、温度及相对湿度φ）对水溶性晶体结晶形态的影响。通过控制φ值及水蒸汽的蒸发-凝结状态,在600-650 Pa、1-2℃和φ为91%-95%的条件下,形成四方柱和四方锥组合体特征的KH2PO4单晶。采用接近水的饱和蒸汽压曲线的压力和温度的组合条件,得到具有规则晶形的KH2PO4单晶体。
- 张隐奇卫斌王丽吉元
- 关键词：原位KH2PO4
- 原位晶体生长及化学反应的湿环境扫描电子显微分析被引量：1
- 2009年
- 采用环境扫描电镜(ESEM)及微操纵/微注入系统(MMI/MIS),动态观察NaCl晶体的原位溶解和结晶过程以及BiVO4晶体的原位反应.实测MMI系统的针尖在线性进退(Z-轴)、水平(X-轴)转动和垂直(Y-轴)转动3个方向的位移精度分别达到5、5和0.5 nm.MIS系统的液滴尺寸为200~300μm.通过改变样品室压力(420~850 Pa)和样品温度(-1~50℃),控制水的蒸发和凝结状态,研究水湿环境对晶体的溶解、生长及生长速率的影响.采用2个MMI/MIS系统,通过液体微注入方式,在700 Pa和4℃下分别注入NH4VO3和Bi(NO3)3液滴,得到原位反应产物BiVO4八面体.
- 吉元张隐奇卫斌王丽
- 关键词：加湿
- 非导电材料元素X-射线显微分析的补偿和校正方法被引量：1
- 2009年
- 本文分析了在环境扫描电镜中,Al2O3等非导电陶瓷样品的荷电效应和环境压力对X-射线能谱仪(EDS)元素分析造成的影响。研究了相应的补偿和校正方法。在高真空模式下,荷电效应使氧含量明显增加。采用低真空模式(LV)消除了荷电效应和减小了表面电势,因而减小了EDS的测量误差。在LV模式中采用X-射线压力限制光阑(PLA)杯,减小了电子束的裙散效应,使EDS的测量误差进一步减小。较高的压力环境增加了对电子束和低能X-射线的散射作用,使EDS的测量误差明显增加。
- 张隐奇吉元王丽卫斌戴琳史佳新张虹
- 关键词：荷电效应
- 铝和铜互连线的晶粒结构及残余应力研究
- 2010年
- 采用X射线衍射仪和扫描探针显微镜,观察和测量了分别由大马士革工艺制备的Cu互连线和由反应刻蚀工艺制备的Al互连线的晶粒结构和应力状态.大马士革工艺凹槽中的Cu互连线受到机械应力的影响,使Cu互连线的晶粒尺寸（45~65 nm）小于Al互连线的晶粒尺寸（200~300 nm）;Cu互连线（111）的织构强度（2.56）低于Al互连线（111）的织构强度（15.35）;Cu互连线沿线宽方向的应力σ22随线宽的减小而增加,即沉积态和退火态的Cu互连线的σ22由73和254 MPa（4μm线宽）分别增加到104和301 MPa（0.5μm线宽）.Cu互连线和Al互连线的流体静应力σ均为张应力.Al互连线的主应力σ11、σ22和σ33随Al膜厚度的减小而增加.退火使Al互连线的σ11、σ22和σ33降低,表明Al互连线中的残余应力主要为热应力.
- 王晓冬卫斌张隐奇刘志民吉元
- 关键词：织构应力
- 纳米锆酸镧外延层与Ni-W衬底晶体取向匹配关系的电子背散射衍射(EBSD)测试方法
- 纳米锆酸镧外延层与Ni-W衬底晶体取向匹配关系测试方法，属于超导薄膜性能测试技术领域，其特征在于，在热场发射扫描电镜SEM-电子背散射衍射仪EBSD分析测试系统中，调整二次电子放大倍率、扫描步进距离，使得能在加速电压最低...
- 吉元王丽张隐奇卫斌
- 文献传递
