叶锡标
- 作品数：10 被引量：7H指数：2
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- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 一种通过透反式零位光栅产生绝对零位对准标记的方法
- 本发明通过透反式零位光栅产生绝对零位对准标记的方法，特征是采用两块经过特殊编码产生零位标记的光栅，将透射光栅放在Z方向上，光束沿着Z方向垂直射入透射光栅；再将反射光栅沿着Z方向安装在透射光栅后面，并平行于透射光栅，光束透...
- 黄文浩叶锡标周成刚
- 文献传递
- 基于透反式二维绝对零位光栅的光刻对准技术被引量：2
- 2007年
- 在二维零位光栅原理的基础上提出了一种透反式二维零位光栅系统,从理论上分析了系统的可行性,并进行了对准性能的试验.实验数据表明透反式光栅系统比一般的光刻对准技术的对比度更强,判别零位的性能更好.该系统作为一种新型的掩模-硅片对准技术,应用于光刻机中可获得优于20 nm的定位对准精度.
- 叶锡标周成刚张阳黄文浩
- 透反式二维零位光栅的实验系统研究
- 纳米时代的来临给人们探索和认识微观世界提供了更多的机会，同时也伴随着更大的挑战。纳米测量及定位技术在各个领域中的应用越来越广泛。随着集成电路尺寸的减小，高精度的光刻对准技术越来越引起人们的重视。
本课题在同家教...
- 叶锡标
- 关键词：二维零位光栅光学仪器光刻机微电子电路
- 文献传递
- 基于二维零位光栅的高精度平面定位系统被引量：6
- 2006年
- 随着微电子工业和纳米加工技术的快速发展,对超高精度的定位基准的要求也越来越高．提出一种基于特殊编码的非周期性二维零位光栅的平面定位传感器,采用在二维方向上的非周期性鳊码产生一个表征鲍对零位的最大输出峰．当两块二维零位光栅的相互位置完全对准时,透过的光强达到峰值,峰值的半宽仅为一个光栅栅格尺寸：当两块二维零位光栅的相互位置稍有移动时,透过光强急剧衰减．用光电接受器件接受透射光强信号,经过电路处理,反馈给定位驱动装置,可以在平面内同时实现x和y方向高精度的定位要求．采用栅格常数为5μm的光栅做实验,可以达到优于20nm的定位精度．实验表明,该平面定位系统可以满足高精度平面定位的要求,有着广泛的应用空间．
- 周成刚叶锡标张阳黄文浩
- 关键词：二维零位光栅
- 一种通过透反式零位光栅产生绝对零位对准标记的方法
- 本发明通过透反式零位光栅产生绝对零位对准标记的方法，特征是采用两块经过特殊编码产生零位标记的光栅，将透射光栅放在Z方向上，光束沿着Z方向垂直射入透射光栅；再将反射光栅沿着Z方向安装在透射光栅后面，并平行于透射光栅，光束透...
- 黄文浩叶锡标周成刚
- 文献传递
- 碳纤维两臂微镊的研究分析
- 2007年
- 为了对微米尺度物体进行操作，利用显微镜和三维位移台制作了一种微操作器．该微操作器是一种用两根单根碳纤维为两臂的微镊，使用静电力驱动，能实现对30～200μm尺度的物体的夹持．通过闭合实验、夹持实验及微镊闭合过程的理论分析，证明该方法对设备要求低、成本低．
- 张阳周成刚叶锡标黄文浩
- 关键词：微操作
- 一种新颖的三维零位标记
- 2007年
- 提出了一种新颖的三维零位对准标记.采用特殊编码的平面零位光栅通过分束棱镜成像在两个相互垂直的平面内,通过调节保证两平面在共有方向的零位重合,从而在三维空间内形成一个完善的X-Y-Z方向的原点重合的绝对坐标系,克服了现有技术只能进行一维或二维平面定位而不能实现在三维坐标系上进行绝对定位的缺点.这种三维零位标记系统简单,可以实现纳米级精度的三维绝对零位.
- 周成刚叶锡标张阳黄文浩
- 关键词：平面光栅位置传感器
- 一种产生三维零位对准标记的方法
- 本发明产生三维绝对零位对准标记的方法，特征是采用三块经过特殊编码产生零位标记的光栅：将X方向第一块光栅放在凸透镜两倍焦距处，用镜分束棱将通过透镜的象成在两个相互垂直的平面内，分别垂直于X方向和Z方向，再把另外两块光栅分别...
- 黄文浩周成刚王英男叶锡标
- 文献传递
- 一种产生三维零位对准标记的方法
- 本发明产生三维绝对零位对准标记的方法，特征是采用三块经过特殊编码产生零位标记的光栅：将X方向第一块光栅放在凸透镜两倍焦距处，用镜分束棱将通过透镜的象成在两个相互垂直的平面内，分别垂直于X方向和Z方向，再把另外两块光栅分别...
- 黄文浩周成刚王英男叶锡标
- 文献传递
- 一种简单的二维零位光栅编码新方法
- 2007年
- 二维零位光栅可以给出标志二维坐标系下绝对零位的脉冲,但由于编码设计的计算量巨大,产生二维零位光栅的编码非常困难。本文结合全局优化的DIRECT算法和遗传算法等优化算法,提出一种首先采用优化算法设计较为易于得到的一维零位光栅编码,然后通过简单的矢量运算扩展为二维零位光栅的编码方法。通过验证,利用该方法所设计的二维零位光栅编码能在满足零位信号对比度与优化设计的一维零位光栅编码相同的前提下有效降低二维零位光栅编码设计的计算量。
- 周成刚叶锡标张阳黄文浩
- 关键词：二维零位光栅
