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吕幼华
作品数:
3
被引量:5
H指数:1
供职机构:
杭州电子科技大学
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发文基金:
浙江省自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
汪洁
杭州电子科技大学电子信息学院
张海鹏
杭州电子科技大学电子信息学院
高明煜
杭州电子科技大学电子信息学院
许杰萍
杭州电子科技大学
徐文杰
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作者
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吕幼华
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年份
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2008
2篇
2006
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集成抗ESD二极管的SOI LIGBT/LDMOS器件结构及其制作方法
被引量:5
2006年
为探索与国内VLSI制造工艺兼容的新型SOI LIGBT/LDMOS器件与PIC的设计理论和工艺实现方法,首次提出含有抗ESD二极管的集成SOI LIGBT/LDMOS器件截面结构和版图结构,并根据器件结构给出了阻性负载时器件的大信号等效电路.探讨了该结构器件的VLSI工艺实现方法,设计了工艺流程.讨论了设计抗ESD二极管相关参数所需考虑的主要因素,并给出了结构实现的工艺控制要求.
张海鹏
汪沁
孙玲玲
高明煜
李文钧
吕幼华
刘国华
汪洁
关键词:
ESD
SOI
PIC
集成抗ESD二极管的SOI LIGBT器件单元
本发明涉及一种集成抗静电损伤二极管的SOILIGBT器件单元。常规的SOI LIGBT由于高压静电引起栅击穿造成静电损伤。本发明包括半导体衬底、隐埋氧化层、漂移区、阱区、阱接触区、阴极区、抗ESD二极管阴极区、栅氧化层、...
张海鹏
徐文杰
许杰萍
高明煜
吕幼华
汪洁
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集成抗ESD二极管的SOI LIGBT器件单元
本发明涉及一种集成抗静电损伤二极管的SOI LIGBT器件单元。常规的SOI LIGBT由于高压静电引起栅击穿造成静电损伤。本发明包括半导体衬底、隐埋氧化层、漂移区、阱区、阱接触区、阴极区、抗ESD二极管阴极区、栅氧化层...
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