周建发
- 作品数：22 被引量：10H指数：2
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- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信航空宇航科学技术文化科学更多>>
- SOI硅微固态传感器关键技术研究及系列产品开发
- 蒋庄德赵玉龙赵立波王文襄高建忠陈俊刚徐静波周建发刘秀娥林晓迟王建军白光辉
- 在国家863项目组及省、市科技部门的支持下，我校针对特种领域对高温压力测试的迫切需求，采用基于SOI（硅隔离）技术的固态浮雕式压阻力敏芯片和新型的硅杯、梁膜结构，使SOI耐高温压力传感器可用于高温及高频等恶劣条件下的压力...
- 关键词：
- 关键词：SOI传感器
- 一种MEMS谐振梁的热弹阻尼分析被引量：1
- 2009年
- 热弹阻尼是高Q值微结构器件能量耗散的主要机理,文中介绍解析理论评估热弹阻尼,但此理论只适用于简单模型。对于复杂模型的分析,采用数值计算方法。文中利用有限元分析方法评估一种MEMS谐振器中由于热弹阻尼引起的能量耗散,并考虑电极、材料特性等因素的影响。有限元计算结果与实际实验结果一致性良好,从而为高Q值MEMS谐振器的设计提供了有力的设计方法。
- 周建发杨贵玉
- 关键词：谐振品质因数MEMS
- 空间飞行器表面原子氧密度传感技术综述与设想
- 2009年
- 对空间飞行器表面原子氧密度测量技术研究现状进行了探讨,并提出了一种新颖的测量方法设想,单个传感器采用YSZ(氧化钇稳定的氧化锆yttria-stabilized zirconia YSZ)作为敏感材料,通过测量YSZ阻抗变化的方法进行原子氧的测量。同时采用已知原子氧腐蚀速率的材料锇一起暴露测量,实现了对YSZ原子氧传感器的在线标定。该方案能解决空间飞行器表面原子氧密度的长期测量和传感器标定困难的问题。
- 王鲜然杨贵玉周建发
- 关键词：原子氧YSZ氧化锆氧化钇
- 多功能集成传感器芯片的制作方法
- 本发明公开了一种多功能集成传感器芯片的制作方法，采用微机械电子系统技术和集成电路微加工技术在一个5mm×5mm面积的管芯上制作出能分别敏感压力、温度、湿度三个传感器单元；三个单元基于的效应不同，其中压力单元基于压阻效应，...
- 蒋庄德赵玉龙赵立波周建发
- 文献传递
- 一种双迈克尔逊干涉式测声传感器
- 本发明公开了一种双迈克尔逊干涉式测声传感器，包括探头、防尘罩、底板、棱镜、反射镜、基板、C‑Lens光纤准直透镜、光缆和振膜；探头采用实心回转体结构，探头一端设有用于套装防尘罩的凸缘，凸缘上设有用于安装振膜的同轴通孔；探...
- 郑林周建发孙舟璐杨显涛蒙瑰
- 一种多传感器集成芯片
- 本发明公开了一种基于SOI技术多传感器集成芯片，包括硅悬臂梁，硅膜，硅膜周边的支撑硅基，外围的硅质量块和玻璃基底。硅膜，硅膜周边的支撑硅基与玻璃底座结合，在芯片中间形成相对独立的真空环境作为压力传感器；单端固定的硅悬臂梁...
- 赵玉龙蒋庄德徐敬波周建发孙剑
- 文献传递
- 一种基于嵌入式系统的光谱基线计算方法
- 本发明公开了一种基于嵌入式系统的快速光谱基线计算方法，包括如下步骤：(1)权重向量和调节系数初始化；(2)更改背景拟合算法；(3)引入新矩阵存储2n+1对角矩阵；(4)对矩阵进行压缩分解；(5)求解Lx＝b；(6)求解U...
- 刘蓓周建发徐暠蒙瑰郑林钟亮郑义郗洪柱
- 一种多传感器集成芯片
- 本发明公开了一种基于SOI技术多传感器集成芯片，包括硅悬臂梁，硅膜，硅膜周边的支撑硅基，外围的硅质量块和玻璃底座。硅膜，硅膜周边的支撑硅基与玻璃底座结合，在芯片中间形成相对独立的真空环境作为压力传感器；单端固定的硅悬臂梁...
- 赵玉龙蒋庄德徐敬波周建发孙剑
- 文献传递
- 一种用于光声检测的干涉条纹相位提取方法
- 本发明公开了一种用于光声检测的干涉条纹相位提取方法，首先利用极值—中心取点法确定单幅干涉条纹中需要提取辐照度的五个位置点；然后设置线阵图像传感器的驱动频率和积分时间；利用高速模数转换器获取一幅干涉条纹图并进行中值滤波；提...
- 郗洪柱周建发王伟魁
- 石英振梁加速度计微细加工工艺研究被引量：3
- 2009年
- 介绍了石英振梁加速度计微细加工工艺。对其中的重点、难点进行研究分析。对石英晶片上Cr-Au掩蔽薄膜的沉积工艺,从理论上分析了影响薄膜抗蚀性因素,提出了解决办法。在湿法腐蚀过程中,强调了精确控制腐蚀深度和截面形貌的重要性。并对其带来的影响进行了分析。
- 陈巍闫海杨贵玉陈圣广周建发向毅
- 关键词：振梁加速度计湿法腐蚀
