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左朝朝
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供职机构:
江苏大学能源与动力工程学院
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相关领域:
电子电信
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童玉珍
北京大学物理学院宽禁带半导体研...
张国义
北京大学物理学院宽禁带半导体研...
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江苏大学能源与动力工程学院
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MOVPE生长m面GaN薄膜的表面吸附研究
2016年
采用基于密度泛函理论的Materials Studio中的CASTEP模块,对金属有机物气相外延MOVPE生长m面GaN薄膜的表面反应前体的吸附过程进行研究。针对吸附粒子GaCH_3和NH_3在m面GaN表面不同的初始吸附位,优化计算了GaCH_3和NH_3在表面的吸附能、与近邻原子的距离、态密度、电荷密度分布、电子布居。计算结果表明,GaCH_3在表面Ga brg2位优化之后的位置最稳定,吸附能最低,GaCH_3中的Ga原子与表面邻近的N原子、Ga原子分别形成Ga-N、Ga-Ga共价键。NH_3在表面N brg2位最稳定,吸附能最低,NH_3中的N原子与表面邻近的Ga原子形成N-Ga共价键。通过对比在最佳吸附位的MMG中的Ga原子和NH_3中的N原子与表面原子的电荷分布情况和布居数,证明上述吸附粒子与表面确实存在共价作用,形成共价键。
左朝朝
左然
童玉珍
张国义
关键词:
MOVPE
密度泛函理论
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