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常开朋

作品数：2 被引量：8H指数：2
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：理学化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇理学
  • 1篇化学工程

主题

  • 2篇等离子体化学...
  • 2篇微波等离子体
  • 2篇微波等离子体...
  • 2篇金刚石膜
  • 2篇化学气相
  • 2篇化学气相沉积
  • 2篇衬底
  • 1篇铜网
  • 1篇无氧
  • 1篇无氧铜
  • 1篇硅衬底
  • 1篇SI(100...
  • 1篇MPCVD

机构

  • 2篇清华大学

作者

  • 2篇朱鹤孙
  • 2篇常开朋
  • 2篇江锦春
  • 2篇程文娟
  • 2篇张阳
  • 2篇沈德忠

传媒

  • 2篇人工晶体学报

年份

  • 2篇2003
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
高质量金刚石膜在无氧铜衬底上的MPCVD被引量：6
2003年
本文采用高纯无氧铜 (Cu)片作为基片 ,用自行设计的微波等离子体化学气相沉积系统 ,制备出了高质量多晶金刚石膜。用场发射扫描电子显微镜 (SEM)、Raman散射谱和X射线衍射谱 (XRD)对制备的金刚石膜进行了表征与分析 ,其结果证明金刚石膜具有较优的质量。
常开朋程文娟江锦春张阳朱鹤孙沈德忠
关键词：金刚石膜无氧铜衬底MPCVD微波等离子体化学气相沉积
金刚石膜在Si(100)衬底上的选择沉积被引量：2
2003年
采用自行设计的微波等离子体化学气相沉积系统,利用铜网作为模板实现了在sj(100)衬底上金刚石膜的选择沉积。用场发射扫描电子显微镜(SEM)、Raman散射谱对样品进行了表征与分析。并与同样生长条件下未采用模板时得到的金刚石样品进行了比较。结果发现,采用模板后,金刚石膜的成核密度和质量都得到很大提高。
常开朋程文娟江锦春张阳朱鹤孙沈德忠
关键词：金刚石膜SI(100)硅衬底微波等离子体化学气相沉积铜网
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