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张洪泽
作品数:
6
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供职机构:
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
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合作作者
范亚明
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
张立国
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
王劼
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
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机构
6篇
中国科学院
作者
6篇
张洪泽
6篇
王劼
6篇
张立国
6篇
范亚明
年份
3篇
2016
2篇
2014
1篇
2013
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6
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晶体生长炉
本发明公开了一种晶体生长炉,包括反应室和加热装置,所述的反应室包括第一热壁和第二热壁,所述的第一热壁和第二热壁可拆卸连接,且所述的第一热壁和第二热壁围成晶体的反应空间,所述的第二热壁的材质为石墨,所述的加热装置配合第二热...
王劼
张立国
范亚明
张洪泽
文献传递
一种使用射频加热的桶式CVD设备反应室
本发明公开了一种使用射频加热的桶式CVD设备反应室,包括:具有双层管状结构的水冷壁,该水冷壁的内管腔中设有反应室,而内、外管之间至少与该反应室相应的区域内分布有冷却介质容置腔;设于该反应室内的加热基座,且该加热基座上分布...
王劼
张立国
范亚明
张洪泽
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晶体生长炉
本发明公开了一种晶体生长炉,包括反应室和加热装置,所述的反应室包括第一热壁和第二热壁,所述的第一热壁和第二热壁可拆卸连接,且所述的第一热壁和第二热壁围成晶体的反应空间,所述的第二热壁的材质为石墨,所述的加热装置配合第二热...
王劼
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一种MOCVD自动化控制系统
本发明公开了一种MOCVD自动化控制系统,包括执行模块和控制模块,该执行模块包括分别用于控制反应室内温度、压力、气体流量的温度控制模块、压力控制模块、流量控制模块,该控制模块可通过PID算法控制执行模块,该控制模块的扫描...
王劼
张立国
范亚明
张洪泽
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一种MOCVD自动化控制系统
本发明公开了一种MOCVD自动化控制系统,包括执行模块和控制模块,该执行模块包括分别用于控制反应室内温度、压力、气体流量的温度控制模块、压力控制模块、流量控制模块,该控制模块可通过PID算法控制执行模块,该控制模块的扫描...
王劼
张立国
范亚明
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一种使用射频加热的桶式CVD设备反应室
本发明公开了一种使用射频加热的桶式CVD设备反应室,包括:具有双层管状结构的水冷壁,该水冷壁的内管腔中设有反应室,而内、外管之间至少与该反应室相应的区域内分布有冷却介质容置腔;设于该反应室内的加热基座,且该加热基座上分布...
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