施梦娱
- 作品数：4 被引量：0H指数：0
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- 双腔平衡式气动室温红外探测器
- 本发明涉及一种双腔平衡式气动室温红外探测器，属于探测器领域。包括吸收腔(10)、覆盖于吸收腔上的红外窗口(2)、在吸收腔壳体上的敏感薄膜(6)以及检测敏感薄膜形变的元件(14)，特征在于：在敏感薄膜(6)的另一侧设置平衡...
- 徐晨沈光地宋义超李博施梦娱高国陈建新
- 文献传递
- 方形重掺杂硅薄膜的极限载荷分析
- 本文考虑残余应力的情况下,薄膜在大挠度时总应力的解析表达式.通过实验观察,深腐蚀得到的浓硼重掺杂硅薄膜表面存在微蚀坑.考虑微蚀坑和残余应力的影响,运用总应力表达式和Griffith裂口强度理论,定量的得到方形浓硼重掺杂硅...
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- 关键词：微机械残余应力极限载荷
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- 方形重掺杂硅薄膜的极限载荷分析
- 2006年
- 考虑残余应力的情况下,薄膜在大挠度时总应力的解析表达式.通过实验观察,深腐蚀得到的浓硼重掺杂硅薄膜表面存在微蚀坑.考虑微蚀坑和残余应力的影响,运用总应力表达式和Griffith裂口强度理论,定量的得到方形浓硼重掺杂硅薄膜的最大挠度和极限载荷Pmax,与已报道的实验值相符.从而解释了浓硼重掺杂硅薄膜的实际断裂强度值远小于晶体理论断裂强度值的矛盾.可以得出,极限载荷Pmax不仅与薄膜的尺寸与形状有关,而且也与材料特性,特别是与制备工艺有关.
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- 关键词：微机械残余应力极限载荷
- 横式气动红外探测器的结构分析与实现技术研究
- 红外探测是一种被广泛应用的关键性技术,红外探测器作为红外探测整机系统的核心部件,有着广阔的应用前景,它已从最初的军事应用逐渐扩展到了包括工业测控,医疗检测,防火防灾等在内的更为广阔的民用领域。随着半导体工艺技术,材料,物...
- 施梦娱
- 关键词：红外探测器
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