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晋明

作品数：11 被引量：25H指数：3
供职机构：中国科学院高能物理研究所更多>>
发文基金：国家攀登计划更多>>
相关领域：电子电信理学自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇期刊文章
  • 3篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 3篇电子电信
  • 3篇理学

主题

  • 4篇光刻
  • 4篇LIGA技术
  • 3篇电铸
  • 2篇电铸镍
  • 2篇掩模
  • 2篇射线
  • 2篇紫外光刻
  • 2篇钛片
  • 2篇微细
  • 2篇微细加工
  • 2篇牺牲层
  • 2篇聚甲基丙烯酸
  • 2篇聚甲基丙烯酸...
  • 2篇夹钳
  • 2篇甲基
  • 2篇甲基丙烯
  • 2篇甲基丙烯酸
  • 2篇甲基丙烯酸甲...
  • 2篇氨酸
  • 2篇丙烯

机构

  • 10篇中国科学院

作者

  • 10篇晋明
  • 8篇伊福廷
  • 5篇唐鄂生
  • 2篇王渭
  • 2篇赵南生
  • 2篇韩勇
  • 2篇张菊芳
  • 2篇冼鼎昌
  • 2篇谢一冈
  • 1篇盛毅
  • 1篇王孝良
  • 1篇赵福洪
  • 1篇王可玢
  • 1篇习复
  • 1篇张志英
  • 1篇顾向明
  • 1篇盛伟繁
  • 1篇徐雨林
  • 1篇王文清
  • 1篇刘金声

传媒

  • 4篇微细加工技术
  • 2篇光谱学与光谱...
  • 1篇第一次两岸同...

年份

  • 1篇2005
  • 1篇2000
  • 2篇1997
  • 2篇1996
  • 3篇1995
  • 1篇1993
共 11 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
BSRF圆二色谱研究进展被引量：11
1996年
圆二色（ＣＤ）谱是一种特殊的吸收谱，它对手性分子的构象十分敏感，因此它是最重要的光谱实验之一。北京同步辐射装置（ＢＳＲＦ）３Ｂ１Ｂ生物光谱实验站已经投入运行，它提供单色聚焦的同步辐射光，波长覆盖范围１７０ｎｍ～５００ｎｍ。该站的主要设备是一台圆二色谱仪。用这台仪器成功地获取了活性生物样品～捕光色素（ＬｉｇｈｔＨａｒｖｅｓｔＣｈｌｏｒｏｐｈｙｌｌ）的ＣＤ谱，同时测得樟脑磺酸（ＣａｍｐｈｏｒＳｕｌｆｏｎｉｃＡｃｉｄ）、异雄甾酮（Ａｎｄｒｏｓｔｅｒｏｎｅ）和Ｄ－及Ｌ－缬氨酸（Ｖａｌｉｎｅ）对称的ＣＤ曲线。
王渭李崇慈赵南生张志英盛毅晋明
关键词：圆二色谱生物样品BSRF缬氨酸
北京同步辐射装置3B1B生物光谱实验站被引量：1
1995年
本文介绍北京同步辐射装置（ＢＳＲＦ）３Ｂ１Ｂ光束线、生物光谱实验站和圆二色谱仪的基本情况。报道北京正负电子对撞机（ＢＥＰＣ）同步辐射专用光期间，我们在该站测量了１１种手征性生物和药物样品的圆二色（ＣＤ）谱，首次在国内利用同步辐射光获取了Ｄ－苯丙氨酸（Ｐｈｅｎｙｌａｌａ－ｎｉｎｅ）等样品的ＣＤ谱和Ｄ－及Ｌ－亮氨酸（Ｌｅｕｃｉｎｅ）对称的ＣＤ曲线。
王渭李崇慈赵南生吴坚武顾向明盛伟繁王可玢赵福洪王文清郑多楷晋明
关键词：苯丙氨酸亮氨酸
悬空微条气体室X、γ射线探测器
悬空微条气体室X、γ射线探测器用于探测高能和低能X、γ射线，该探测器主要由悬空金属微条、透射X、γ射线的薄膜窗口、探测腔体组成，采用半导体加工工艺在玻璃等基片上制成一定尺寸和阵列的悬空金属微条及相应的悬空窗口的微条板，将...
伊福廷谢一冈晋明王孝良唐鄂生徐雨林
文献传递
上牺牲层加工方法
本发明公开了一种上牺牲层加工方法。它是以铜为支撑体,镍为结构的夹钳器件,其方法如下:在由LIGA技术获得的聚甲基丙烯酸甲酯、钛片、电铸镍结构上,旋转涂紫外胶,在90℃下烘干,作为牺牲层。在紫外光刻机上套刻对准,曝光,显影...
伊福廷张菊芳唐鄂生韩勇晋明
文献传递
悬空金属微条探头的制造
1996年
悬空金属微条是探测高能粒子和Ｘ射线的新型探测器──微条气体室的探测元件。由微细加工制备的金属微条尺寸及其相互的位置精度都可控制在微米量级，因此能够得到非常好的空间分辨率，并具有抗辐射、低成本等独特优点。
伊福廷晋明唐鄂生谢一冈
关键词：核物理探头
上牺牲层加工方法
本发明公开了一种上牺牲层加工方法。它是以铜为支撑体，镍为结构的夹钳器件，其方法如下：在由LIGA技术获得的聚甲基丙烯酸甲酯、钛片、电铸镍结构上，旋转涂紫外胶，在90℃下烘干，作为牺牲层。在紫外光刻机上套刻对准，曝光，显影...
伊福廷张菊芳唐鄂生韩勇晋明
文献传递
同步辐射X射线深度光刻实验被引量：7
1997年
深度同步辐射光刻是LIGA技术的关键工艺环节。利用同步辐射X射线的高平行性、硬射线的高强度，可以光刻出非常深的胶结构，并且这一结构有着很好的尺寸精度和垂直精度，对加工出微型机械结构，具有重要作用。
伊福廷习复唐鄂生郑宏卫晋明冼鼎昌
关键词：LIGA技术X射线光刻
微细加工新技术－－ＬＩＧＡ技术
伊福廷晋明
关键词：光刻材料束线光束
LIGA技术的掩模制造被引量：5
1995年
ＬＩＧＡ技术是近几年才发展起来的一门新的技术，包括光刻、电铸和塑铸。由于要进行深度Ｘ光曝光，所用的同步辐射Ｘ光较硬，这一曝光条件相应就需要Ｘ光掩模吸收体有较大厚度和较高的加工精度，这样才能够阻挡住Ｘ光，同时保证较高的光刻精度。这种掩模的加工一般需要分二步完成，首先要加工出一块不太厚吸收体图形的Ｘ光掩模，然后利用同步辐射Ｘ光将这一掩模翻制成较大厚度的ＬＩＧＡ技术用掩模。本文是利用紫外光曝光与氩离子刻蚀相结合，制造出吸收体图形厚度２微米的Ｘ光掩模，然后用同步光将这一掩模翻制成ＬＩＧＡ技术用的掩模。
伊福廷吴坚武晋明洗鼎昌刘金声王乃强
关键词：掩模LIGA技术
电铸在LIGA技术中的应用被引量：1
1995年
近年来，电铸在微细加工中的应用得到了较快发展，尤其在近几年高速发展的ＬＩＧＡ技术的掩模加工和其应用产品中，该技术充分体现出了它的优越性能和潜在的应用前景。本文结合ＬＩＧＡ技术掩模的加工及其电铸产品，用已取得的实验结果来说明电铸的应用潜力。
伊福廷晋明吴坚武冼鼎昌
关键词：微细加工LIGA技术电铸掩模
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