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曾晓鹭

作品数：1 被引量：9H指数：1
供职机构：厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院萨本栋微机电研究中心更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇电容式
  • 1篇电容式加速度...
  • 1篇有限元
  • 1篇有限元分析
  • 1篇速度传感器
  • 1篇微机电系统
  • 1篇机电系统
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度传感器
  • 1篇感器
  • 1篇MEMS技术
  • 1篇传感
  • 1篇传感器
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇厦门大学

作者

  • 1篇曾晓鹭
  • 1篇程未
  • 1篇冯勇建
  • 1篇卞剑涛

传媒

  • 1篇传感器技术

年份

  • 1篇2003
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于MEMS技术的微电容式加速度传感器的设计被引量：9
2003年
给出了一种基于MEMS技术制作的微电容式加速度传感器的结构及工艺。为了准确地把握这种微电容式加速度传感器的力学和电学特性,仔细地建立了它的力学模型。在此基础上,详细分析了它的动态特性———模态。并用有限元的方法分析和计算了微电容式加速度传感器的加速度与电容信号的非线性输入输出关系,并结合实测参数验证了模型的有效性。最后提出了一种详细的有效的基于MEMS技术的微电容式加速度传感器的结构以及加工工艺流程。基于MEMS技术制作的微电容式加速度传感器具有结构简单、工作可靠和工作范围大的特点。根据这套方法,可以比较方便地设计并加工不同测量要求的加速度计。
程未曾晓鹭卞剑涛冯勇建
关键词：微机电系统有限元分析MEMS技术
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