李盛印
- 作品数：8 被引量：33H指数：4
- 供职机构：四川大学更多>>
- 发文基金：中国工程物理研究院科技基金中国工程物理研究院基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术金属学及工艺核科学技术更多>>
- 脉冲激光沉积掺W类金刚石膜的性能被引量：7
- 2010年
- 采用氟化氪(KrF)脉冲准分子激光烧蚀沉积(PLD)技术,在硅基体表面制备不同掺W时间的类金刚石薄膜(W-DLC)。利用AFM、XRD、Raman、纳米压痕等手段分析和研究薄膜的表面形貌、结构以及部分性能。结果表明:W掺入后形成了α-W2C和WC相,并且没有明显改变薄膜中sp2和sp3键的含量,薄膜的表面粗糙度基本不受W掺入时间的影响,残余应力降低约1个数量级(二十几个GPa下降到几个GPa),硬度和弹性模量随W掺入时间的增加而逐渐降低。
- 王雪敏吴卫东李盛印陈松林唐永建白黎王海平
- 关键词：类金刚石薄膜
- 类金刚石膜在ICF研究中的潜在应用被引量：5
- 2009年
- 类金刚石膜(DLC)是由sp3,sp2以及sp1键混合而成,具有优异的物理、化学性能。简要介绍了类金刚石膜的形成及性质,着重概括了它在惯性约束聚变(ICF)研究中的应用潜力,并进一步讨论了研究中存在的问题及今后发展的方向。
- 王雪敏吴卫东李盛印白黎唐永建王锋
- 关键词：类金刚石膜惯性约束聚变
- 膜厚对直流磁控溅射Nb薄膜微结构的影响被引量：9
- 2008年
- 采用直流磁控溅射方法制备膜厚为50,100,200,400,600 nm的Nb薄膜,对薄膜的沉积速率、表面形貌、晶体结构进行了研究,并对其应力和择优取向进行了详细的分析。原子力显微镜图像显示Nb膜表面光滑、致密,均方根粗糙度达到0.1 nm量级。X射线小角衍射给出了薄膜的晶格结构、晶粒尺寸和应力情况。分析表明薄膜为多晶体心立方结构(bcc),在(110)晶面方向存在明显的择优取向,且随着薄膜厚度增大而增强。Nb膜应力先随薄膜厚度增大而增大,在200 nm时达到最大值(为1.0151 GPa),后随薄膜厚度的增大有所减小。
- 林华平吴卫东何智兵许华李俊王锋李盛印张宝玲宋萍江玲谌家军唐永建
- 关键词：直流磁控溅射
- Fe纳米颗粒嵌埋对类金刚石薄膜结构及电学性能的影响被引量：1
- 2008年
- 采用脉冲激光气相沉积方法制备了不同Fe嵌埋浓度的Fe:DLC多层纳米复合薄膜。用X射线光电子能谱仪(XPS)对薄膜的组成成分进行分析。利用透射电子显微镜(TEM)、拉曼光谱、电流-电压曲线研究Fe纳米颗粒嵌埋对薄膜的微观结构及电学性能的影响。XPS和TEM表明,Fe纳米颗粒周期性地均匀地嵌埋在碳薄膜中。拉曼光谱表明薄膜中的C为典型的类金刚石结构,Fe纳米颗粒促进芳香环式结构的形成,薄膜结构的有序度提高。电流-电压曲线表明,Fe纳米颗粒的嵌埋导致薄膜的室温电导率增加。
- 李盛印吴卫东王锋王雪敏唐永建孙卫国
- 关键词：类金刚石薄膜微观结构电导率
- 衬底温度对类金刚石薄膜力学性能的影响被引量：4
- 2008年
- 采用脉冲激光沉积方法在不同衬底温度下制备了最高硬度与弹性模量分别达45 GPa和290GPa,且表面十分光滑的类金刚石薄膜。在相对湿度为80%的条件下,薄膜最低的摩擦系数与磨损率分别为0.045与5.74×10-10mm3.N-1.m-1。实验结果表明,硬度与弹性模量随衬底温度升高而降低,摩擦系数与磨损率随衬底温度升高而增大。拉曼光谱表明:在室温下制备的薄膜为典型类金刚石结构,sp3含量高达76.8%,而随温度升高,薄膜结构逐渐经无定形碳结构向纳米晶石墨结构方向发展,sp3含量也随之降低,力学性能变差。
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- 关键词：脉冲激光沉积类金刚石薄膜衬底温度弹性模量磨损率
- PLD方法制备的超硬非晶碳薄膜研究被引量：6
- 2007年
- 用脉冲激光沉积在不同条件下制备非晶碳超硬薄膜,研究了非晶碳超硬薄膜的表面形貌、结构、应力、硬度以及能谱等。原子力显微镜和扫描电镜图像显示,薄膜表面平整、致密且光滑,均方根粗糙度最大为0.877 nm。在高激光重复频率、高激光通量条件下,薄膜有很大的应力,致使膜层褶皱甚至破裂,小角X射线衍射表明薄膜为非晶态且最大残余应力达30 GPa以上,但300℃温度的原位退火可以有效降低残余应力;纳米压痕测试表明薄膜硬度大于20 GPa,弹性模量大于200 GPa;X射线光电子能谱表明薄膜中sp3的含量在39%～53%之间变化,并且与激光通量成正比。
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- 关键词：脉冲激光沉积弹性模量
- 非晶碳烧蚀材料的掺杂注入效应
- 高sp含量的非晶碳具有各向同性、表面粗糙度低的优点,具备成为激光惯性约束聚变(ICF)用靶的基础和潜力。制备性能优异非晶碳烧蚀层的过程中,大多都涉及离子的注入过程,这一过程以及相关效应对非晶碳烧蚀层的性质起非常重要的作用...
- 王雪敏吴卫东白黎李盛印唐永建王海平曹林洪
- 文献传递
- 潮湿环境下非氢类金刚石薄膜的超自润滑性能研究被引量：4
- 2008年
- 采用脉冲激光沉积(PLD)方法在不同衬底温度条件下制备了不含氢的类金刚石薄膜,在相对湿度为80%与5%的条件下测试了类金刚石薄膜的摩擦学特性.由于PLD方法的独特性,薄膜具"软-硬"双层结构,保证了薄膜在潮湿条件(RH=80%)下仍保持非常优异的摩擦性能,摩擦系数与磨损率最低达0.045与5.94×10-10mm3·N-1·m-1,相对于干燥条件下测试结果来看,几乎没有明显变化.原子力显微镜与白光干涉仪测试结果表明,薄膜的均方根粗糙度小于1nm,最小值为0.209nm;XPS表明薄膜sp3最高含量达72%,并且Raman光谱结果表明室温下制备的薄膜是非晶网络结构;纳米压痕迹测试表明,薄膜最高硬度与弹性模量分别达51GPa与350GPa,且随衬底温度升高而降低;样品表面的水接触角均大于90°,薄膜表面疏水并具有极低的表面能.
- 王锋吴卫东李俊李盛印唐永建孙卫国
- 关键词：PLD相对湿度磨损率
