李锡广
- 作品数：22 被引量：28H指数：4
- 供职机构：中北大学更多>>
- 发文基金：山西省自然科学基金武器装备预研基金山西省科技攻关计划项目(工业)更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术交通运输工程机械工程电子电信更多>>
- 基于MEMS惯性器件的两轴稳定平台研究
- 稳定平台能有效隔离运动平台扰动、使灵动载荷相对惯性空间保持稳定,常用于视轴稳定、相对姿态稳定、方位跟踪等用途,应用领域广泛、前景广阔,目前平台稳定系统姿态检测以成本较高的光学陀螺为主要检测元件,不利于稳定平台的推广应用,...
- 李锡广
- 关键词：MEMS惯性技术陀螺KALMAN滤波
- 文献传递
- 具有抗横向干扰的硅纳米带巨压阻效应微加速度计
- 一种具有抗横向干扰的硅纳米带巨压阻效应微加速度计，主要结构由键合基底、敏感质量块、固定外框、组合梁、硅纳米线电阻、凹槽、阻尼孔组成，组合梁由检测梁、连接块、横向缓冲梁组成，硅纳米线电阻由硅纳米带电阻层、硅纳米带电阻正极、...
- 李孟委刘俊杜康王莉李锡广
- 纳米膜隧穿效应微陀螺的结构设计与加工
- 2013年
- 基于GaAs材料和器件的制造工艺,介绍了纳米膜隧穿器件和微陀螺的结构设计方法和工艺加工方法。阐述了基于纳米膜隧穿效应微陀螺的工作原理,对纳米膜隧穿器件和微陀螺的结构进行了设计,分析了微陀螺的模态频率设计和匹配仿真。采用反应离子刻蚀(RIE)刻蚀和感应耦合等离子体(ICP)刻蚀方法分别对隧穿器件和微陀螺结构进行了加工,利用扫描电镜观测,加工结果较好。利用冲击信号测试了微陀螺的频率响应,讨论了微陀螺的模态频率测试结果和匹配情况,证明微陀螺在驱动方向和检测方向上能够工作且模态频率匹配程度较好。实验结果表明,提出的GaAs材料微陀螺结构设计方法和工艺加工方法是可行的,能够应用于GaAs基微陀螺结构设计与制造。
- 李锡广李孟委杜康郑伦贵刘俊
- 关键词：隧穿效应微机械陀螺砷化镓
- 一种硅基隧道磁阻效应微陀螺
- 本发明公开了一种硅基隧道磁阻效应微陀螺，包括：键合基板；垫衬框体，垫衬框体设在键合基板上方并与键合基板相连接；铁磁性薄膜，铁磁性薄膜设在键合基板与垫衬框体组合形成的矩形凹槽的中心位置；和微陀螺，微陀螺设在垫衬框体的上方并...
- 李孟委李锡广刘俊刘双红王莉石云波
- 文献传递
- 基于微小型稳定平台的MEMS陀螺信号调理电路设计与测试被引量：10
- 2018年
- 为提高MEMS陀螺的使用精度,基于微小型稳定平台应用背景设计了高精度MEMS陀螺信号调理电路,实验表明该电路提升了陀螺仪的使用精度。设计的调理电路采用高速24位Δ-Σ型A/D转换电路和高精度差分放大器对陀螺信号进行处理。基于MEMS陀螺仪搭建了两轴陀螺组件,并将两轴陀螺组件安装于高精度三轴转台,进行测试。采集MEMS陀螺模拟输出和数字输出数据,分别进行Allan方差分析。结果表明:该调理电路使X轴MEMS陀螺零偏不稳定性指标提升13.63%,Y轴MEMS陀螺零偏不稳定性指标提升19.347%。
- 蒋孝勇李锡广安永泉唐军李孟委
- 关键词：MEMS陀螺信号调理电路ALLAN方差
- 基于磁阻传感器的旋转弹转速测量系统设计被引量：4
- 2013年
- 为了给弹体试验中所发生故障的机理分析提供重要的参考依据,介绍了一种基于HMC1043磁阻传感器的旋转弹转速测量系统的设计。设计主要采用了HMC1043三轴磁阻传感器和PIC24FV32KA301单片机芯片来完成系统功能。在详细阐述系统硬件设计的基础上,对软件设计进行了相应的介绍。实验结果表明:所设计的测量系统能比较准确地测出弹丸的转速。
- 苏树清李锦明李锡广
- 关键词：转速测量
- 具有抗横向干扰的硅纳米带巨压阻效应微加速度计
- 一种具有抗横向干扰的硅纳米带巨压阻效应微加速度计，主要结构由键合基底、敏感质量块、固定外框、组合梁、硅纳米线电阻、凹槽、阻尼孔组成，组合梁由检测梁、连接块、横向缓冲梁组成，硅纳米线电阻由硅纳米带电阻层、硅纳米带电阻正极、...
- 李孟委王莉杜康刘俊李锡广
- 文献传递
- 基于石墨烯的MEMS声学传感器
- 一种基于石墨烯的MEMS声学传感器，主要结构由由上层结构、下层结构及石墨烯组成，上层结构上制作有集音腔、间隙腔、通孔板、拾音孔、上层金属层、上层绝缘层、上层金属连接位、上层键合金属层，下层结构层上制作有通孔板、间隙腔、阻...
- 李孟委王莉杜康刘俊李锡广白晓晓王增跃王琪
- 文献传递
- 一种基于隧道磁阻效应的微机械陀螺
- 本发明公开了一种基于隧道磁阻效应的微机械陀螺结构装置，主要结构包括：基板、垫衬框体，垫衬框体设在基板上方并与基板相连接；永磁体，永磁体设在基板与垫衬框体组合形成的矩形凹槽的中心位置；和微陀螺角速率敏感体，微陀螺角速率敏感...
- 李孟委王莉李锡广刘双红刘俊唐军
- 文献传递
- 一种MEMS惯性传感器结构压膜阻尼可调装置
- 一种MEMS惯性传感器结构压膜阻尼可调装置，主要由阻尼帽、键合衬底、二氧化硅层、氮化硅层、键合金属层、电阻正极、电阻负极、上极板电极、下极板电极、固定基座、硅弹性膜、凹腔、上极板金属层、下极板金属层、上极板金属层引出线、...
- 刘俊王莉杜康李孟委李锡广
