栾剑
- 作品数：5 被引量：11H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团公司更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 基于微光机电系统的微感知技术被引量：2
- 2010年
- 微光机电系统技术是在微机电系统技术基础之上发展起来的具有多种学科交叉融合特征的前沿高新技术,在该技术上建立的微感知技术是未来微系统技术的核心技术之一。由于微感知技术具有微型化、集成化和智能化的特点,未来在国防军工、精密仪器、特殊工业,以及环境检测等领域将有广泛的应用前景。首先描述了微感知技术的技术特征,同时对当前国内外的微感知技术研究情况进行了介绍,总结了微光机电系统的几个亟待突破的技术问题,并指出了微感知技术面临的挑战。通过对发展微感知技术需要关注问题的思考,对我国微感知技术的发展提出了建议。
- 陈丽洁史鑫栾剑郇帅
- 关键词：微机电系统微光机电系统
- 基于硅MEMS敏感结构的光学检测声传感器被引量：2
- 2011年
- 介绍了一种基于硅基MEMS敏感结构的光学式声传感器,对其工作原理及设计进行了分析与研究,尤其是对感声膜结构,提出将波纹结构引入到传统硅基平膜芯片中,利用MEMS技术制作具有低应力波纹结构的感声薄膜芯片,并制作传感器样品。经样品测试,灵敏度达30 mV/Pa。
- 王伟栾剑史鑫陈信琦
- 关键词：MEMS光学检测声传感器灵敏度
- LD调制技术在光学式甲烷气体传感器中的应用被引量：4
- 2011年
- 设计了一种基于光谱吸收式光学式甲烷气体传感器的调制电路,利用波长调制光谱技术(WMS)实现对LD激光器的调制,降低LD中心波长的波动对测量结果的影响。介绍了LD调制的基本原理,给出相应的硬件电路,并重点分析了在光学式甲烷气体传感器中应用LD调制的原理及关键技术。结果表明:该传感器响应时间为1 2s,测量精度可达0.03%VOL。
- 王元委栾剑周志炜盛健王东伟
- 关键词：传感器甲烷光学
- 氧化铝薄膜湿度传感器湿度源装置设计
- 2008年
- 设计了测量氧化铝湿度传感器的湿度源装置,该装置由5个固体干燥剂湿度源单元组成。实验了露点9.3^-33.5;9.3^-65.2℃;-14.5^-65.2℃;-65.2^-14.5℃转换时的平衡时间特性,实验验证了湿度源单元的准确性。结果表明:露点-65.2^-14.5℃转换时的平衡时间小于2 min,固体干燥剂湿度源装置可满足氧化铝湿度传感器实验测量需要。
- 徐凌任先武周明军栾剑王朔
- 关键词：湿度传感器露点干燥剂
