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汪嘉恒
作品数:
1
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供职机构:
东北大学理学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
宁策
东北大学理学院
祁阳
东北大学理学院
徐奕辰
东北大学理学院
王明光
东北大学理学院
杨慧
东北大学理学院
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汪嘉恒
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王明光
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宁策
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2013
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纳米氧化锌掺铝薄膜的微观结构研究
2013年
采用溶胶-凝胶(sol-gel)法在玻璃衬底上制备了纳米ZnO掺铝薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)和透射电镜(TEM)对薄膜的微观结构进行了系统的研究。结果表明,所有在玻璃衬底上生长的ZnO薄膜均具有c轴择优取向。掺杂量为2%(原子分数)时,Al在ZnO薄膜中达到最高水平。过量Al掺杂明显减弱薄膜的c轴择优取向。随着Al掺杂量的增加,ZnO晶粒进一步细化。其原因是未进入ZnO晶格的Al以非晶Al2O3的形式在ZnO晶界上形成了对晶界运动的钉扎,从而阻碍了ZnO晶粒进一步长大。
王明光
杨慧
汪嘉恒
宁策
徐奕辰
祁阳
关键词:
ZNO薄膜
微观结构
溶胶-凝胶
AL掺杂
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