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潘佳奇
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
兰州大学物理科学与技术学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
谢二庆
兰州大学物理科学与技术学院磁学...
朱承泉
兰州大学物理科学与技术学院
苏庆
兰州大学物理科学与技术学院磁学...
李育仁
兰州大学物理科学与技术学院
刘雪芹
兰州大学物理科学与技术学院磁学...
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1篇
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谢二庆
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物理学报
年份
1篇
2011
共
1
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非化学计量比靶材溅射制备Cu-Al-O薄膜的光学电学性质研究
被引量:1
2011年
考虑到铜铝溅射速率的差别,使用铜铝比例为0.9:1的多晶CuAlO2靶材,用射频磁控溅射法制备Cu-Al-O薄膜.研究不同衬底温度对薄膜光学电学性能的影响.在衬底温度500℃附近,薄膜在可见光范围内具有很好的透光性,达到70%,计算拟合得到直接帯隙为3.52eV,与CuAlO2相的理论值符合较好.在室温附近,薄膜导电符合半导体热激活机理,在衬底温度为500℃附近薄膜电导率达到2.48×10-3S·cm-1.
潘佳奇
朱承泉
李育仁
兰伟
苏庆
刘雪芹
谢二庆
关键词:
衬底温度
透过率
电导率
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