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田中雅彥

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：北陆先端科学技术大学院大学更多>>

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇电力
  • 1篇电力供给
  • 1篇电气绝缘
  • 1篇连接端子
  • 1篇连接构造
  • 1篇绝缘
  • 1篇发热体
  • 1篇CVD装置

机构

  • 1篇北陆先端科学...
  • 1篇安内华股份有...

作者

  • 1篇田中雅彥

年份

  • 1篇2004
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
发热体CVD装置及发热体CVD装置中的发热体与电力供给机构之间的连接构造
本发明的发热体CVD装置，将电气连接发热体与电力供给机构的多个连接端子实现电气绝缘的同时、保持在被预先确定的位置上，在处理容器内设置一个或多个连接端子保持座，该连接端子使发热体与基板保持座相对地支承与该连接端子连接的发热...
石桥启次田中雅彥柄泽稔砂山英树山田和孝松村英树增田淳
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