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耿兆强

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：山东工业大学电力工程学院自动化系更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电子束曝光
  • 1篇电子束曝光机
  • 1篇数据格式
  • 1篇数据格式转换
  • 1篇曝光机
  • 1篇可变矩形电子...
  • 1篇磁带
  • 1篇磁带机

机构

  • 1篇中国科学院
  • 1篇山东工业大学

作者

  • 1篇耿兆强
  • 1篇杨中山
  • 1篇张玉林

传媒

  • 1篇微细加工技术

年份

  • 1篇1999
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
可变矩形电子束曝光机数据格式转换软件的移植
1999年
详细介绍了如何在微机上实现 Ｊ Ｂ Ｘ６ Ａ Ｉ Ｉ型可变矩形电子束曝光机的数据格式转换工作。在熟悉通用图形数据 Ｃ Ｉ Ｆ格式和专用图形数据 Ｊ Ｅ Ｏ Ｌ５１ 格式的基础上，对如何实现 Ｃ Ｉ Ｆ格式到 Ｊ Ｅ Ｏ Ｌ５１ 格式的转换作了论述，并给出了程序流程图。此外，提出了两种曝光数据检验的方法，并对曝光实验中应注意的问题作了说明。
耿兆强杨中山张玉林
关键词：电子束曝光数据格式转换磁带机
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共1页<1>
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