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肖柯

作品数：22 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：电子电信文化科学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 22篇中文专利

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇机械工程
  • 1篇文化科学

主题

  • 15篇金属
  • 11篇介质层
  • 11篇金属接触
  • 8篇过渡层
  • 6篇晶体管
  • 5篇电阻
  • 5篇接触电阻
  • 5篇触电
  • 4篇电极
  • 4篇电压
  • 4篇引线
  • 4篇石墨
  • 4篇石墨烯
  • 4篇石墨烯晶体管
  • 4篇欧姆接触
  • 4篇偏置
  • 4篇偏置电压
  • 4篇光刻
  • 4篇二维电子
  • 3篇压焊

机构

  • 22篇清华大学

作者

  • 22篇肖柯
  • 22篇钱鹤
  • 22篇吴华强
  • 22篇伍晓明

年份

  • 6篇2015
  • 4篇2014
  • 12篇2013
共 22 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
气体传感器及其形成方法
本发明公开了一种气体传感器及其形成方法，该气体传感器包括：衬底；形成在衬底之上的介质层；形成在介质层之上的第一压焊块和第二压焊块；形成在介质层之上的碳基薄膜，其中，碳基薄膜位于第一压焊块与第二压焊块之间，且覆盖第一压焊块...
伍晓明肖柯吕宏鸣钱鹤吴华强
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基于倒置工艺的双臂梁MEMS器件及其形成方法
本发明公开了一种基于倒置工艺的双臂梁MEMS器件及其形成方法，该方法包括：提供衬底；依次在衬底上形成过渡层、底层电极和层间介质层；在层间介质层上形成上层电极层；刻蚀上层电极层和层间介质层以形成开口，露出底层电极的一部分，...
伍晓明肖柯吕宏鸣钱鹤吴华强
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石墨烯量子电容测试器件及其制备方法
本发明涉及一种石墨烯量子电容测试器件及其制备方法。该方法包括：在衬底上形成栅电极引线图形、源电极引线图形和漏电极引线图形；在衬底上形成栅电极图形、源电极图形和漏电极图形，分别与该栅电极引线图形、源电极引线图形和漏电极引线...
肖柯吴华强吕宏鸣钱鹤伍晓明
二维电子材料单臂梁器件及其制备方法
本发明提供一种二维电子材料单臂梁器件及其制备方法，器件包括：衬底；衬底上形成有第一金属电极图形；衬底和第一金属电极图形上形成有介质层，介质层形成有第一通孔图形；介质层上形成有第二金属电极图形，第二金属电极图形中的第二金属...
肖柯吕宏鸣伍晓明钱鹤吴华强
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混频器
本发明提供一种混频器，包括：射频信号输入端、本振信号输入端、中频信号输出端、第一晶体管、第二晶体管、电压转换模块、第一偏置端以及第二偏置端，第一晶体管用于将由射频信号输入端输入的射频电压信号和由本振信号输入端输入的本振电...
吕宏鸣肖柯钱鹤吴华强伍晓明
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具有石墨烯晶体管的低噪声放大器
本发明公开了一种具有石墨烯晶体管的低噪声放大器，包括：石墨烯晶体管，其源极接地，栅极接偏置电压相连，漏极接工作电压；连接在漏极与工作电压之间的第一电感和第一电容；连接在源极与地端之间的第二电感和第二电容；以及输出端和输入...
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石墨烯光探测器及其制备方法
本发明公开了一种石墨烯光探测器及其制备方法，其中，石墨烯光探测器包括：基板；基板上形成有第一金属电极图形；第一金属电极图形上形成有第二金属电极图形；且任两个相邻的第一金属电极中：一第一金属电极上形成有第二金属电极，另一第...
肖柯吕宏鸣伍晓明钱鹤吴华强
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石墨烯光探测器及其制备方法
本发明公开了一种石墨烯光探测器及其制备方法，其中，石墨烯光探测器包括：基板；基板上形成有第一金属电极图形；第一金属电极图形上形成有第二金属电极图形；且任两个相邻的第一金属电极中：一第一金属电极上形成有第二金属电极，另一第...
肖柯吕宏鸣伍晓明钱鹤吴华强
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热电偶及其形成方法
本发明公开了一种热电偶及其形成方法，该方法包括：提供衬底；在衬底之上形成介质层；在介质层之上形金属层；对金属层进行光刻及刻蚀处理以形成第一压焊块、第二压焊块和热偶金属条，其中第二压焊块与热偶金属条相连；在介质层之上形成碳...
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二维电子材料装置及其混合光刻方法
本发明涉及一种二维电子材料装置及其混合光刻方法，方法包括：在衬底上形成至少一层引线金属层并对至少一层引线金属层进行光学光刻，以形成至少一层引线图形，最上层包括多个上层引线，栅、源、漏电极图形分别与一个上层引线相连；形成电...
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