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文献类型

  • 3篇专利
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领域

  • 4篇电子电信

主题

  • 4篇镀膜
  • 3篇射频
  • 3篇装卸
  • 3篇螺孔
  • 3篇基片
  • 3篇夹具
  • 1篇中科院
  • 1篇重复频率
  • 1篇脉冲
  • 1篇脉冲激光
  • 1篇激光
  • 1篇激光器
  • 1篇高重复频率
  • 1篇光学
  • 1篇光学薄膜

机构

  • 7篇中国科学院上...

作者

  • 7篇葛建忠
  • 6篇范正修
  • 6篇王英剑
  • 6篇贺洪波
  • 1篇徐毓光
  • 1篇吕波
  • 1篇余勤跃
  • 1篇谈小虎

传媒

  • 1篇激光杂志

年份

  • 2篇2005
  • 3篇2004
  • 1篇2003
  • 1篇1994
7 条 记 录,以下是 1-7
排序方式:
双盘连接基片装置及使用方法
王英剑葛建忠贺洪波范正修
一种用于Veeco射频离子束溅射镀膜机的双盘连接基片装置及使用方法,该装置由固定盘、外接盘和基片构成,该固定盘的中心开有一轴套孔,该固定盘的边缘设有N个不穿透的螺孔;该外接盘的边缘与固定盘的螺孔相对处也开设N个尺寸相同的...
关键词:
双盘连接基片装置(中科院)
王英剑葛建忠贺洪波范正修
一种用于Veeco射频离子束溅射镀膜机的双盘连接基片装置,该装置由固定盘、外接盘和基片盖板构成,该固定盘的中心开有一轴套孔,该固定盘的边缘设有N个不穿透的螺孔;该外接盘的边缘与固定盘的螺孔相对应出也开设N个尺寸相同的通孔...
关键词:
双盘连接基片装置
一种用于Veeco射频离子束溅射镀膜机的双盘连接基片装置,该装置由固定盘、外接盘和基片盖板构成,该固定盘的中心开有一轴套孔,该固定盘的边缘设有N个不穿透的螺孔;该外接盘的边缘与固定盘的螺孔相对应处也开设N个尺寸相同的通孔...
王英剑葛建忠贺洪波范正修
文献传递
双盘连接基片装置及使用方法
一种用于Veeco射频离子束溅射镀膜机的双盘连接基片装置及使用方法,该装置由固定盘、外接盘和基片盖板构成,该固定盘的中心开有一轴套孔,该固定盘的边缘设有N个不穿透的螺孔;该外接盘的边缘与固定盘的螺孔相对应处也开设N个尺寸...
王英剑葛建忠贺洪波范正修
文献传递
双盘连接基片装置及使用方法
一种用于Veeco射频离子束溅射镀膜机的双盘连接基片装置及使用方法,该装置由固定盘、外接盘和基片盖板构成,该固定盘的中心开有一轴套孔,该固定盘的边缘设有N个不穿透的螺孔;该外接盘的边缘与固定盘的螺孔相对应处也开设N个尺寸...
王英剑葛建忠贺洪波范正修
文献传递
双盘连接基片装置
王英剑葛建忠贺洪波范正修
一种用于Veeco射频离子束溅射镀膜机的双盘连接基片装置,该装置由固定盘、外接盘和基片盖板构成,该固定盘的中心开有一轴套孔,该固定盘的边缘设有N个不穿透的螺孔;该外接盘的边缘与固定盘的螺孔相对应出也开设N个尺寸相同的通孔...
关键词:
关键词:镀膜
高重复频率脉冲激光对光学薄膜的损伤被引量:5
1994年
本文介绍了光学薄膜在高重复频率脉冲激光作用下的损伤阈值,与单次脉冲激光相比下降了二个数量级。论文并探讨了在高重复频率激光作用下光学薄膜损伤的主要原因及提高损伤阈值的方法。
徐毓光吕波余勤跃谈小虎葛建忠陈梅
关键词:高重复频率脉冲激光光学薄膜激光器
共1页<1>
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