裘安萍
- 作品数：172 被引量：267H指数：11
- 供职机构：南京理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国防科技技术预先研究基金江苏省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信航空宇航科学技术机械工程交通运输工程更多>>
- 工字型硅微机械陀螺梳齿间隙尺寸辨识方法
- 本发明公开了一种工字型硅微机械陀螺梳齿间隙尺寸辨识方法，针对工字型MEMS陀螺中因MEMS加工工艺导致的梳齿间隙加工误差，利用梳齿电容静电负刚度对检测模态与检测同相模态的影响，通过调节待测梳齿两端直流电压，采用频率随电压...
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- 硅微谐振式加速度计的干扰模态抑制装置与方法
- 本发明公开了一种硅微谐振式加速度计的干扰模态抑制装置与方法，加速度计结构设置在三层单晶硅的中层单晶硅片上，该结构包括质量块、两个谐振器、四个微杠杆放大机构、应力释放机构、多个支撑梁和多个固定基座；两个谐振器沿着x轴对称布...
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- 文献传递
- 等效刚度法在音叉式陀螺仪谐振频率计算中的应用被引量：2
- 2004年
- 运用刚度等效理论,推导出了音叉式陀螺仪敏感模态谐振频率的计算公式,并借助有限元分析软件验证该公式的正确性,最后分析了几何参数对谐振频率的影响。
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- 关键词：音叉谐振频率模态陀螺仪有限元分析软件
- 一种可变偏压的MEMS陀螺模块化在片测试系统
- 本发明公开了一种可变偏压的MEMS陀螺模块化在片测试系统，包括：无源针卡，连接晶圆级MEMS陀螺的各组梳齿电极与质量块电极，并与有源测控模块相连；数据采集卡，通过时序控制，输出控制电平、白噪声激励信号、直流偏置电压信号，...
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- 硅微陀螺仪的误差分析
- 本文以z轴硅微陀螺仪为研究对象,对加工误差产生的误差信号进行了分析.由于加工误差,使得陀螺仪结构不对称,主要表现为支承梁不对称、梳齿间距不等,产生了不等弹性、阻尼不对称以及力不平衡这三种现象.以动力学方程为基础,分析了不...
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- 关键词：硅微陀螺仪误差分析
- 文献传递
- 硅微陀螺仪器件级真空封装被引量：5
- 2009年
- 为实现硅微陀螺仪真空封装以提高其性能,对硅微陀螺仪器件级真空封装技术进行研究。首先,设计硅微陀螺仪的专用陶瓷封装管壳,并采用钎焊技术进行封帽,采用金锑合金为焊料以满足封装过程中的高温。分析除气工艺对硅微陀螺仪品质因数的影响,除气试验结果表明,将硅微陀螺仪芯片和封装壳体放置在真空炉中进行高温烘烤,能有效地提高硅微陀螺仪的品质因数。制定硅微陀螺仪器件级真空封装的工艺流程,封装好的硅微陀螺仪的品质因数约为10363.7,约为空气下的50倍。硅微陀螺仪品质因数跟踪测试结果表明,真空封装的硅微陀螺仪存储5个月后,其品质因数降低为最初的55.1%,这表明采用该器件级真空封装技术封装的硅微陀螺仪的真空保持度较差,有待进一步研究。
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- 关键词：硅微陀螺仪品质因数
- 具有音叉式驱动机构的解耦型双质量硅微机械陀螺仪结构
- 本发明公开了一种具有音叉式驱动机构的解耦型双质量硅微机械陀螺仪结构，用于测量垂直于基座水平的角速率测量仪器，由上层单晶硅、中间层单晶硅、下层单晶硅构成，上层单晶硅为布置有信号输入/出的引线的硅微机械振动陀螺仪封装盖板，中...
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- 一种MEMS器件残余应力温度特性的测量方法
- 本发明公开了一种MEMS器件残余应力温度特性的测量方法，将MEMS器件的机械结构和双端固支音叉谐振器集成在同一个芯片上，利用双端固支音叉谐振器频率与其梁上的轴向应力具有相关性，通过测试不同温度下的双端固支音叉谐振器频率，...
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- 文献传递
- 双轴表面剪切应力传感器
- 本发明涉及微机电系统技术领域，公开了一种双轴表面剪切应力传感器，所述表面剪切应力传感器由上、下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的表面剪切应力机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线。所述表面剪切应力传感器上层机械结构包...
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- 文献传递
- 基于微谐振器的高精度温度测量系统
- 本发明提供了一种基于微谐振器的高精度温度测量系统，包括微谐振器、驱动电路、测频电路和温度标定电路，微谐振器由双端固支音叉、平板电容和基底组成，驱动电路与微谐振器形成闭环回路，保证微谐振器产生稳定的振荡信号，测频电路测量随...
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- 文献传递
