谢佳维
- 作品数：34 被引量：39H指数：5
- 供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
- 发文基金：中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信航空宇航科学技术一般工业技术更多>>
- 石英微机械陀螺仪敏感芯片化学刻蚀加工方法
- 本发明涉及一种石英微机械陀螺仪敏感芯片化学刻蚀加工方法，它是将光刻后的石英晶体放入腐蚀液中，在60℃-95℃温度条件下对石英晶体进行化学刻蚀，刻蚀时间为10-20小时；腐蚀液由水、氢氟酸和氟化铵混合而成，水、氢氟酸和氟化...
- 张巧云林日乐翁邦英周倩谢佳维
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- 一体式晶体掩膜
- 本实用新型公开一种一体式晶体掩膜，包括位于基片上的石英晶体振荡器芯片结构，以及与所述石英晶体振荡器芯片结构同基片，且与所述石英晶体振荡器芯片结构同时制作成形的晶体掩膜。本实用新型公开的一体式晶体掩膜，实现了振荡器芯片的一...
- 李文蕴林日乐林丙涛董宏奎谢佳维满欣
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- 石英微机械陀螺抗高冲击能力的优化研究被引量：8
- 2013年
- 石英微机械陀螺敏感芯片通常为一体式音叉结构,为实现特定的功能,常在芯片中设计开槽结构,开槽拐角处是应力集中的部位。在高冲击情况下,该部位的最大应力可能先达到石英晶体的屈服强度,导致芯片结构断裂损坏。通过在敏感芯片的开槽结构末端设计圆弧台阶结构,降低了该部位在高冲击环境下受到的最大应力,提高了敏感芯片的抗冲击性能。通过综合优化后,石英微机械陀螺的抗高冲击能力可达到10 000g,并保持了较好的性能。
- 林日乐李文蕴赵建华周倩满欣谢佳维
- 关键词：石英微机械陀螺
- 一种集成式橡胶减振器
- 一种集成式橡胶减振器，包括法兰，该法兰的中部设置有中心孔，在该中心孔内设置有连接块，在该中心孔内还设置有位于所述法兰和连接块之间，用于连接所述法兰和连接块的减振橡胶体，所述连接块的中部设置有用于安装元件的安装孔，法兰的中...
- 谢佳维满欣林日乐
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- 一种微型三维叠装的MEMS谐振器件的制造方法
- 本发明公开了一种微型三维叠装的MEMS谐振器件的制造方法，微型三维叠装的MEMS谐振器件包括外壳、盖帽及芯片支架，谐振芯片通过固定部安装在芯片支架上且使谐振梁悬空，芯片支架安装在外壳内壁上且与外壳电气连接，外壳内底面设有...
- 林日乐谢佳维王伟赵建华翁邦英李文蕴罗华蒋昭兴
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- 石英微机械陀螺敏感器件减振设计被引量：1
- 2014年
- 石英微机械陀螺敏感器件在多轴陀螺应用中,各敏感器件之间存在振动干扰,导致陀螺噪声过大,输出信号中存在低频信号,无法满足使用要求。应用减振技术设计了一款集成式的减振器,该减振器具有体积小、质量轻等特点。利用有限元法模拟计算减振器减振效率及固有频率,该减振器在敏感器件激励频率范围内减振效率大于96%;减振器转动振动模态固有频率大于陀螺带宽(150Hz)的两倍以上;减振器低阶线性振动模态固有频率大于敏感器件检测频率与激励频率之差(340Hz)的两倍以上。
- 满欣谢佳维李文蕴
- 关键词：陀螺减振器有限元
- 一种多自由度缓冲石英芯片
- 本发明公开了一种多自由度缓冲石英芯片，包括敏感单元、载台、第一挠性支撑部、隔离框、第二挠性支撑部及固定块，其中：敏感单元的非谐振部与载台相连；载台通过第一挠性支撑部与隔离框内侧连接，第一挠性支撑部在X、Y方向的刚度小于在...
- 林日乐谢佳维李文蕴甘海波
- 闭环控制式加速度计
- 本发明公开了一种闭环控制式加速度计，包括石英振梁加速度敏感元件和致动器；所述石英振梁加速度敏感元件的质量块与致动器之间相对表面上设置有致动电极对，所述致动电极对，用于通过调整施加在致动电极对之间的电压来改变质量块的位置。...
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- 旋转飞行器用微机电陀螺仪
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- 微机电陀螺仪是一种采用MEMS工艺制造的微型传感器，具有成本低、体积小、环境适应能力强、便于大批量装配的特点。该项目研制的旋转飞行器用微机电陀螺仪是陆军某新型制导武器系统的重要组成部分，用于测量旋转飞行器运动中角速率信号...
- 关键词：
- 关键词：旋转飞行器传感器
- 石英微机械陀螺的研究进展及应用前景
- 利用微电子加工技术研制的微机械陀螺便于批量生产,它具有成本低、重量轻、抗振动冲击能力强等特点。本文讨论石英微机械陀螺的基本结构和工作原理,叙述了用于石英微加工的化学各向异性刻蚀的机理和试验结果,给出了石英微机械陀螺的加工...
- 张巧云胡爱民林日乐张挺谢佳维毛世平李卯辰郑永祥吕志清
- 关键词：石英微机械陀螺各向异性刻蚀
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