韩永超
- 作品数：4 被引量：7H指数：2
- 供职机构：东北大学机械工程与自动化学院更多>>
- 发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金辽宁省博士科研启动基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术医药卫生金属学及工艺化学工程更多>>
- 管状工件内表面真空镀膜方法的研究进展
- 本文综述了国内外学者所研究的针对管状工件内表面的十余种真空镀膜方法。对各种方法的应用范围和特点进行了简要分析。温昕晖等采用锤丝蒸镀法,在石英玻璃管内表面沉积Ni-Cr合金导电膜;王勇等人利用直流二极(反应)溅射镀膜方法,...
- 张世伟韩永超韩进
- 关键词：真空镀膜物理气相沉积化学气相沉积
- 文献传递
- 电子束蒸发氧化钛薄膜的化学成分与显微结构被引量：4
- 2010年
- 用电子束蒸发的方法在Ti盘上沉积氧化钛薄膜。分别用场发射扫描电镜,X射线光电子谱和X射线衍射分析所制备薄膜的表面形貌、化学成分和晶体结构,所制备的氧化钛薄膜的晶体结构依赖于制备过程中的沉积参数,薄膜的成分主要为金红石结构,是包含TiO2,Ti2O3和TiO三种结构的多晶体,随着沉积过程中氧气流量的增加,所制备的薄膜中高价钛离子(如Ti4+)的含量不断增大,同时低价钛离子(如Ti2+)的含量不断减小。随着氧气流量的增加和后续热处理温度的升高,薄膜的结晶度不断增大,并呈现出单一金红石(101)相位的趋势。
- 蔺增王永韩永超巴德纯刘春明
- 关键词：氧化钛薄膜电子束蒸发化学成分结构特性
- 管状工件内表面磁场辅助直流溅射镀膜方法的研究
- 在科学研究和生产实践中,以管状工件内表面作为工作面的情形有很多。在管内壁沉积薄膜可以显著改善工件的性能,但是,在长度较长、内径较小的管内壁制备薄膜是比较困难的。本文在前人研究的基础上提出了一种改进的镀膜方法,即磁场辅助直...
- 韩永超
- 文献传递
- 管状工件内表面真空镀膜方法的研究进展被引量：3
- 2012年
- 本文针对管状工件内表面的真空镀膜方法进行了分类综述。介绍了国内外学者所开发研究的十余种镀膜方法,对各种方法的应用范围和特点进行了简要分析。最后总结提出尚存的问题。
- 韩永超张世伟韩进
- 关键词：真空镀膜物理气相沉积化学气相沉积
