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文献类型

  • 14篇中文专利

主题

  • 14篇石英玻璃
  • 12篇合成石英玻璃
  • 6篇四氯化硅
  • 6篇炉体
  • 6篇氯化
  • 6篇氯化硅
  • 6篇沉积速率
  • 5篇汽相沉积
  • 3篇光学
  • 3篇光学均匀性
  • 3篇
  • 3篇大尺寸
  • 2篇体气
  • 2篇气相
  • 2篇气相合成
  • 2篇羟基含量
  • 1篇电机
  • 1篇信号调理
  • 1篇液面
  • 1篇液位

机构

  • 14篇中国建筑材料...

作者

  • 14篇顾真安
  • 14篇饶传东
  • 12篇王玉芬
  • 11篇钟海
  • 10篇隋梅
  • 9篇向在奎
  • 4篇宋小兵
  • 3篇张向锋
  • 2篇宋学富
  • 1篇王蕾

年份

  • 1篇2008
  • 3篇2007
  • 5篇2006
  • 2篇2005
  • 2篇2004
  • 1篇2003
14 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
微正压控制合成石英玻璃反应器
本发明公开了一种微正压控制合成石英玻璃反应器,包括一封闭炉体,置于炉体中的基础杆和基础杆端头的沉积砣面,炉体上部设向沉积砣面投料的燃烧器,下部设排风通道,其中,排风通道中设有闸板,排风通道连接排风风机;炉体上部还设一连通...
顾真安张向锋饶传东
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卧式四氯化硅气相沉积合成石英玻璃的方法
本发明公开了一种卧式四氯化硅汽相沉积合成石英玻璃的方法,以克服卧式工艺中的问题,生产大尺寸、大直径的石英玻璃锭,并提高沉积效率,降低生产能耗。其主要设计一种多燃烧器组卧式沉积炉,包括烟囱,炉体,沉积靶面,燃烧器,基础杆及...
向在奎隋梅饶传东钟海顾真安王玉芬
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大尺寸石英玻璃熔化炉
本实用新型公开了一种大尺寸石英玻璃熔化炉,其目的是提供一种能够保证石英玻璃微观结构上的均匀性,保证达到熔化或均化的要求的石英玻璃熔化炉。其技术方案如下:一种石英玻璃熔化炉,它包括有炉体、料盒、上下电极及动力机构,其特征在...
顾真安向在奎王玉芬隋梅钟海饶传东
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立式四氯化硅汽相沉积合成石英玻璃的方法
本发明公开了一种立式四氯化硅汽相沉积合成石英玻璃的方法,以克服卧式工艺中的问题,生产大尺寸、大直径的石英玻璃锭,并提高沉积效率,降低生产能耗。其主要设计一种立式沉积炉,包括烟囱,炉体,沉积砣面,燃烧器,基础杆及车床,所述...
顾真安王玉芬向在奎饶传东钟海隋梅
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卧式四氯化硅汽相沉积合成石英玻璃的方法
本发明公开了一种卧式四氯化硅汽相沉积合成石英玻璃的方法,以克服卧式工艺中的问题,生产大尺寸、大直径的石英玻璃锭,并提高沉积效率,降低生产能耗。其主要设计一种多燃烧器组卧式沉积炉,包括烟囱,炉体,沉积靶面,燃烧器,基础杆及...
向在奎隋梅饶传东钟海顾真安王玉芬
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高频等离子气相合成石英玻璃的方法
本发明公开了一种高频等离子体气相合成石英玻璃的方法,包括将持续的等离子体电弧引入作为生产炉的热源,将氧气和四氯化硅气体混合并以持续稳定的流量投入生产炉内靶面上方,生成二氧化硅微粒并沉积至靶面上形成玻璃的步骤。本发明用纯净...
王玉芬钟海宋学富饶传东宋小兵顾真安
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立式四氯化硅汽相沉积合成石英玻璃的方法
本发明公开了一种立式四氯化硅汽相沉积合成石英玻璃的方法,以克服卧式工艺中的问题,生产大尺寸、大直径的石英玻璃锭,并提高沉积效率,降低生产能耗。其主要设计一种立式沉积炉,包括烟囱,炉体,沉积砣面,燃烧器,基础杆及车床,所述...
顾真安王玉芬向在奎饶传东钟海隋梅
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合成石英玻璃生产用燃烧器
本实用新型公开了一种合成石英玻璃生产用燃烧器,它包括氧室、进料管与氢气室,其特点为氧室为多层设置,其层与层之间密闭相隔;氧室的下一层直径大于上一层直径,其下一层氧室顶端与上一层氧室底部边缘相接;每层氧室内均设有一圈上开口...
饶传东钟海向在奎隋梅顾真安王玉芬
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一种立式合成石英玻璃沉积炉
本实用新型公开了一种立式合成石英玻璃的沉积炉,其目的是提供一种可解决基础杆强度问题,实现快速沉积、生产大尺寸、大直径的石英玻璃的沉积炉,其包括烟囱,炉体,沉积砣面,燃烧器,基础杆及车床,所述烟囱立设于所述炉体一侧,所述炉...
顾真安王玉芬向在奎饶传东钟海隋梅
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合成石英玻璃中微正压测控方法及系统
本发明公开了一种在四氯化硅汽相沉积合成石英玻璃时能够准确测试和控制炉膛内气体与大气压力差压的方法以及可实现上述方法的微正压测控系统,本发明合成石英玻璃炉膛的内压信号依次通过气压传感元件、差压变送开关、信号调理箱一、计算机...
顾真安张向锋饶传东
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共2页<12>
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