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高宏堂
作品数:
47
被引量:68
H指数:5
供职机构:
中国计量科学研究院
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相关领域:
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合作作者
叶孝佑
中国计量科学研究院
孙双花
中国计量科学研究院
常海涛
北京航空航天大学
张晓
浙江省计量科学研究院
沈雪萍
中国计量科学研究院
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作者
47篇
高宏堂
32篇
叶孝佑
19篇
孙双花
12篇
常海涛
9篇
张晓
6篇
沈雪萍
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2011
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2010
2篇
2009
7篇
2008
2篇
2007
3篇
2006
1篇
2005
共
47
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一种基于高速A/D的刻线瞄准信号处理方法
被引量:3
2008年
介绍了基于高速A/D信号处理方法的系统组成和工作原理,包括对瞄准信号的模拟信号调理、A/D采样、数字信号处理等环节,能够实现2nm的瞄准分辨率,可用于激光干涉比长仪的动态显微瞄准系统。通过实验验证了方法的可行性,即使在干扰较大的非理想波形信号的情况下也能得到对刻线瞄准的较高的重复性。
张晓
叶孝佑
孙双花
高宏堂
常海涛
关键词:
计量学
光电显微镜
数据处理
基于FPGA的正交信号细分系统研究
2008年
介绍了一种新的基于FPGA的纯硬件细分系统,该系统主要由模拟信号处理和集成于同一FPGA芯片上的坐标变换、FIFO存储器、FIR滤波器几个部分组成。采用了集成化和模块化设计,具有精度高、实时性好等特点。将此方法应用于2m比长仪的测长系统,通过实验验证了该细分系统的准确性及实用性。
常海涛
叶孝佑
孙双花
高宏堂
张晓
关键词:
计量学
信号处理
FPGA芯片
FIR滤波
实现纳米测量分辨力的激光干涉仪信号处理系统
本文介绍了一种具有纳米测量分辨力的激光干涉仪信号处理系统的构成,指出了其关键技术.包括干涉测量非线性误差修正,干涉条纹细分、位移计数方向判别,高精度测量自校准。经实验验证,测量分辨力优于0.1nm,成功地应用在所研制的纳...
叶孝佑
高宏堂
高思田
陈允昌
文献传递
激光干涉比长仪的瞄准方法
2016年
本文提出一种改进型的单狭缝刻线瞄准方法,通过计算刻线信号重心坐标平均值,确定刻线中心位置,实验结果表明因刻线信号形状不规则引起的误差小于4nm;通过简化算法将计算时间缩短到1s以内,实现了测量数据的实时处理。
张晓
茅振华
陈挺
周红明
高宏堂
叶孝佑
双路干涉信号正交标准化方法及装置
本发明实施例公开了双路干涉信号正交标准化方法及装置。所述方法包括:确定第一待处理信号及第二待处理信号;对第一及第二待处理信号分别进行去直流处理,生成第一及第二去直流信号;对第一及第二去直流信号分别进行幅度单位化,生成第一...
高宏堂
叶孝佑
文献传递
单频纳米激光干涉仪非线性误差及其修正方法
介绍了单频纳米激光干涉仪的非线性误差,分析了各种典型的单频激光干涉仪非线性误差修正方法,如Heydemann方法、频谱分析方法、基于干涉信号波峰和波谷的方法、基于神经网络的NN方法.在基于干涉信号波峰和波谷的方法的基础上...
高宏堂
高思田
邵宏伟
关键词:
单频激光干涉仪
文献传递
2m比长仪测量滑板运动控制系统的实现
2008年
分析了2m激光干涉比长仪测量滑板运动控制系统的实现方法。设计了气液联动控制机构,以气压为动力,利用气液转换器把气压转换为液压来推动活塞杆控制测量滑板的运行速度和方向,将气压控制的响应快与液压控制的速度稳定性高的特点结合起来,并结合电气系统的控制灵活性,构成了电-气-液的多级控制结构。利用多个液压回路管路直径长度的变化控制测量滑板移动的无级调速,实现了测量滑板运动方向、速度、位置的精确控制,测量速度为2μm/s~10mm/s。系统充分发挥了电、气、液的控制优点,速度,位置控制精度高、运动平稳、可靠性好。
孙双花
叶孝佑
高宏堂
常海涛
张晓
关键词:
计量学
无级调速
深孔内径测量系统
本发明公开的深孔内径测量系统,包括沿深孔轴向移动的测量主体及与测量主体相连的测控装置;测量主体包括:腔体;均布于腔体外的至少三排支撑滚轮,支撑滚轮中的一个是带有驱动的驱动轮;均布于腔体外的至少两个止停球;设在腔体一端的旋...
高宏堂
叶孝佑
王鹤岩
文献传递
轨迹跟踪式干涉信号计数细分装置及方法
本发明公开了一种轨迹跟踪式干涉信号计数细分装置及方法。该装置包括光电信号接收与转换电路、信号调理电路、至少两个模拟数字转换器、位置跟踪脉冲发生电路、细分电路模块、大小数结合及位移解算电路等。其中,通过对双路干涉信号分析处...
高宏堂
叶孝佑
常海涛
文献传递
2m激光干涉测长基准装置
被引量:10
2012年
阐述了2m激光干涉测长基准装置工作原理及系统组成,以线间距测量功能为基础,研究了接触式和非接触式的几何测长对准方法,实现了其测长功能拓展应用。介绍了实现纳米精度测长的技术措施。对称布局的双光电显微镜同步扫描测量接长的方式实现2m刻线间距测量,信号处理系统具有标准间距位置脉冲发生功能,可以实现位移传感器动态触发校准和其它应用。对于高质量的线纹尺,2m激光干涉测长基准装置单次测量刻线间距的最佳瞄准精度优于10nm(1σ),1m测量范围内的线纹测量不确定度U=(20+40L)nm(k=2)。
叶孝佑
高宏堂
孙双花
邹玲丁
沈雪萍
甘晓川
常海涛
张晓
关键词:
计量学
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