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何艾华

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：武汉化工学院更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇抛光
  • 2篇微波激励
  • 2篇离子成分
  • 2篇离子刻蚀
  • 2篇金刚石膜
  • 2篇刻蚀
  • 2篇高频功率
  • 2篇大面积金刚石...

机构

  • 2篇武汉化工学院

作者

  • 2篇马志斌
  • 2篇何艾华
  • 2篇万军
  • 2篇汪建华
  • 2篇王传新
  • 2篇毛家龙

年份

  • 1篇2008
  • 1篇2006
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种抛光大面积金刚石膜的方法和装置
本发明是一种抛光大面积金刚石膜的方法和装置。该方法是：先利用微波激励产生电子回旋共振等离子体，再利用离子回旋谐振加热将高频功率耦合到等离子体中的离子成分中，将离子的动力学温度升高到10～40eV，然后利用引出电极和梯度磁...
马志斌汪建华何艾华万军王传新毛家龙
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一种抛光大面积金刚石膜的方法和装置
本发明是一种抛光大面积金刚石膜的方法和装置。该方法是：先利用微波激励产生电子回旋共振等离子体，再利用离子回旋谐振加热将高频功率耦合到等离子体中的离子成分中，将离子的动力学温度升高到10～40eV，然后利用引出电极和梯度磁...
马志斌汪建华何艾华万军王传新毛家龙
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