党娟娟
- 作品数：7 被引量：19H指数：3
- 供职机构：西安工业大学光电工程学院更多>>
- 发文基金：陕西省教育厅科研计划项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程金属学及工艺更多>>
- 共焦显微系统探测器孔径的最佳匹配
- 共焦扫描显微术是近50年来在显微成像领域所提出来的一种重要的成像技术,同普通显微镜相比,具有较高的横向分辨率和较好的纵向分辨率,而且可以通过对物体不同深度逐层扫描,获得大量断层图像,在无损检测方面具有独特的优势。
- 党娟娟田爱玲王春慧王红军刘丙才
- 关键词：共焦显微镜纵向分辨率
- 文献传递
- 光学表面亚表层损伤表征技术研究
- 光学元件亚表层损伤严重影响了高功率激光器和大型光学系统抗激光损伤阈值、成像质量、镀膜质量及系统的长期稳定性。亚表层损伤现有的检测方法大多数存在破坏试件、检测时间长和精度低等现象。因此准确测量亚表层损伤深度对优化加工工艺及...
- 党娟娟
- 关键词：激光扫描共聚焦
- 抛光表面的亚表层损伤检测方法研究被引量：12
- 2013年
- 光学元件磨削加工引入的亚表面损伤威胁着光学元件的使用性能及寿命,成为现阶段高能激光发展的瓶颈问题,特别是抛光表面光学元件的亚表面损伤检测已成为光学元件制造行业的研究热点和难点.本文结合光学共聚焦成像、层析技术、显微光学、光学散射以及微弱信号处理等技术,给出了基于光学共焦层析显微成像的光学元件亚表面损伤检测方法.分析了不同针孔大小对测量准确度的影响,并首次给出了亚表面损伤的纵向截面分布图.与腐蚀法比较结果显示:针对自行加工的同一片K9玻璃,采用本文提出的方法测得的亚表面损伤深度45μm左右;采用化学腐蚀处理技术,对光学元件逐层刻蚀,观察得到的亚表面损伤深度50～55μm.两者基本一致,进一步验证了本文采用的方法可以实现对光学元件亚表面损伤的定量、非破坏检测.
- 田爱玲王会婷党娟娟王春慧
- 关键词：抛光表面
- 光学表面亚表层损伤检测和损伤规律研究
- 光学零件加工过程中引入的亚表层损伤会直接影响到光学零件的使用寿命、长期稳定性、成像质量等重要性能指标。因此研究适用于光学表面亚表层损伤的检测技术是当今光学工程领域研究的一个热点问题。本文基于激光散射和共聚焦成像原理的非破...
- 党娟娟田爱玲王春慧王红军刘丙才
- 关键词：表面粗糙度激光散射
- 文献传递
- 光学元件亚表层损伤检测和规律研究被引量：4
- 2011年
- 为了分析光学元件的加工工艺与亚表层损伤的关系,验证亚表层损伤/表面粗糙度比例预测模型的正确性,探索一种能够快速检测亚表层损伤的方法.文中基于激光散射和共聚焦显微成像理论,分析了共聚焦显微系统测量亚表层损伤的可行性;对三种不同工艺加工的光学表面,利用OPTELICS S130五波长共聚焦显微镜获得光学表面亚表层损伤的三维立体图和纵向数据图,在TalySurf CCI上测量了光学表面的粗糙度,分析了加工过程中磨粒直径变化规律对表面粗糙度和亚表层损伤深度的影响,验证了亚表层损伤深度和表面粗糙度之间呈单调递增了的非线性关系.研究结果表明,共聚焦显微成像技术可以实现亚表层的非破坏性定量检测.
- 田爱玲党娟娟王春慧王红军刘丙才
- 关键词：表面粗糙度激光散射
- 光学表面亚表层损伤检测和损伤规律研究
- 光学零件加工过程中引入的亚表层损伤会直接影响到光学零件的使用寿命、长期稳定性、成像质量等重要性能指标。因此研究适用于光学表面亚表层损伤的检测技术是当今光学工程领域研究的一个热点问题。本文基于激光散射和共聚焦成像原理的非破...
- 党娟娟田爱玲王春慧王红军刘丙才
- 关键词：表面粗糙度激光散射
- 文献传递
- 光学表面亚表层损伤检测新方法介绍
- 光学元件在加工过程中形成的表面和亚表层损伤会在一定能量的激光辐照下,在局部产生高温,造成元件损伤,国内外研究表明,光学元件在其制造过程中形成的元件表面污染和亚表面缺陷是导致紫外损伤的主要根源之一。因此,如何有效的检测和观...
- 党娟娟田爱玲
- 关键词：激光扫描共聚焦光学表面
- 文献传递
