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刘光军

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子工程设计院更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇三氯氢硅
  • 1篇四氯化硅
  • 1篇氯化
  • 1篇氯化硅
  • 1篇还原炉
  • 1篇副产物

机构

  • 1篇中国电子工程...

作者

  • 1篇刘光军
  • 1篇杭春燕
  • 1篇郭晓俊
  • 1篇杨黎
  • 1篇张昊
  • 1篇吴卫兵

传媒

  • 1篇中国化工学会...

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
西门子法生产多晶硅还原炉内副产物的研究
针对多晶硅厂还原炉内出现的土黄色粉末的成分进行了分析,对其生成原因和对多晶硅生产的影响进行了探讨。分析结果显示,该土黄色粉末的化学成分是单质Si,其形成机理是还原炉炉底温度过高引起的形成无定形Si的副反应。还原炉炉底温度...
郭晓俊吴卫兵刘光军张昊杭春燕杨黎
关键词：多晶硅三氯氢硅四氯化硅还原炉
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