吴汉明
- 作品数：9 被引量：17H指数：2
- 供职机构：中国科学院力学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信更多>>
- 旋转磁流体系统的变分原理及稳定性条件被引量：2
- 1989年
- 本文舍去多方近似,从完整的MHD方程出发,对一个具有粘性,可压缩性,及自引力的旋转MHD系统给出变分原理和稳定性条件。
- 朱如曾吴汉明潘良儒
- 关键词：变分原理稳定性
- 浮体与粘性水波系统稳定性问题的谱分析
- 朱如曾吴汉明
- 关键词：浮体粘性流体谱分析(数学)特征函数稳定性判据稳定性
- 粘性液体上浮体的稳定性条件
- 1989年
- 本文研究了有限范围粘性液体上浮体的稳定性问题,由浮体-液体系统关于平衡态附近的小振动导出的本征方程φ(σ)φ=O,用谱分析法给出了平衡态的稳定条件及各振动模的稳定条件,并表明粘性将使稳定的系统变为渐近稳定,另外还给出了两条泛函微分定理,它们是近似求解本征值的理论基础。
- 朱如曾吴汉明
- 关键词：粘性浮体稳定性振动流体
- 对称充液腔体绕重心的平衡转动在大扰动下的稳定性问题
- 朱如曾吴汉明
- 关键词：动稳定性
- 旋转等离子体系统的泛函微分定理与稳定性条件
- 吴汉明
- 自约束球形等离子体的平衡与稳定性
- 1989年
- 本文用磁流体力学的概念,解释并证实了在环境压力P_u中确可存在平衡且稳定的球形等离子体。同时发现在自约束的等离子体平衡态不可能是无力场位形。还证明自约束的球状等离子体平衡态不唯一。计算结果表明,等离子体火球内部的压力P小于环境压力P_u,与球形马克的磁场形态比较后发现自约束等离子体火球中的磁轴向中心偏移约10％,磁场的剪切稍弱。用Mercier判据可初步得知自约束球形等离子体平衡态是关于局域模稳定的。
- 吴汉明
- 关键词：等离子体球形
- ECR等离子体源中基本参数的数值模拟被引量：14
- 1998年
- 采用混合模型求解了ＥＣＲ等离子体源中的各种物理参量，着重研究了中性气压、微波功率对等离子体参数（如等离子体密度、电子温度、等离子体电势）以及离子能量和方向角分布的影响，并讨论了与之相关的均匀性。
- 刘明海胡希伟吴汉明
- 关键词：ECR等离子体源数值模拟
- 深亚微米刻蚀与等离子体源被引量：1
- 1996年
- 讨论等离子体刻蚀及其等离子体源在微电子工业中的作用,介绍四种高效等离子体源,并讨论这一领域亟待解决的问题。
- 吴汉明
- 关键词：等离子体源微电子技术
- 组合线圈感应耦合高密度等离子体源
- 本发明是属于等离子体工艺设备，特别是用于半导体器件刻蚀工艺设备，它是由法拉弟壳层(1)、感应次极线圈(2)、绝缘材料壳层(3)、外壳座(40)、进出气孔(5)、(8)、芯片座(7)以及感应初极线圈(9)和电源(10)组成...
- 吴汉明
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