宋健全
- 作品数：2 被引量：9H指数：2
- 供职机构：西北工业大学材料学院更多>>
- 发文基金：中国航空科学基金国防基础科研计划更多>>
- 相关领域：理学航空宇航科学技术一般工业技术电子电信更多>>
- 射频磁控溅射GaP薄膜的光学性能被引量：4
- 2002年
- 采用射频磁控溅射方法在ZnS衬底上制备了不同工艺参数下的GaP薄膜 ,并通过FTIR分析了工艺参数对GaP薄膜红外透过率的影响规律。利用优化后的工艺参数成功地制备了厚为 10 .5 μm的GaP膜 ,根据膜系设计结果制备了DLC/GaP膜系。实验表明 ,GaP厚膜与基体结合性能较好 ,光学性能亦有所改善 ;DLC/GaP膜系的红外增透效果良好 ,在 8～ 11.5 μm波段平均透过率净增 5 .6 9% ,足以满足 8～ 11.5 μm增透要求。
- 郭大刚刘正堂宋健全耿东生
- 关键词：射频磁控溅射光学性能红外硫化锌航空
- 工艺参数对磁控溅射磷化镓(GaP)薄膜沉积速率的影响被引量：6
- 2002年
- 采用磁控溅射方法成功地在ZnS衬底上制备了磷化镓 (GaP)薄膜 ,并系统地研究了射频功率、气体流量、工作气压、衬底温度等主要工艺参数对GaP膜沉积速率的影响规律。实验表明 ,随着射频功率、气体流量的增加 ,沉积速率逐渐增大 ;工作气压增大 ,沉积速率降低 ;
- 郭大刚刘正堂宋健全耿东生
- 关键词：磁控溅射沉积速率红外窗口材料GAP
