廖德锋
- 作品数：123 被引量：25H指数：3
- 供职机构：中国工程物理研究院激光聚变研究中心更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺自动化与计算机技术机械工程文化科学更多>>
- 晶体板条元件超声清洗的装夹装置
- 本实用新型提供一种对晶体板条元件的超声清洗的装夹装置，包括四个角对称设置有垂直安装部位底座框架，在所述底座框架的垂直安装部位上左右两边对称位置各设置有横梁，所述横梁通过把手可沿其中心轴线旋转，在所述横梁上设置有V形槽口，...
- 田亮赵世杰谢瑞清廖德锋袁志刚陈贤华周炼钟波徐曦金会良邓文辉王健
- 小工具修正下抛光盘材料的去除特性被引量：2
- 2020年
- 环形抛光是大口径平面光学材料加工的首选方式,特别是在大口径平面光学元件的超精密加工中占有重要地位。抛光盘表面形状是影响元件面形精度的直接因素。为了研究小工具对抛光盘表面材料的去除特性,首先需要准确测得抛光盘的表面形状。采用激光位移传感器采集抛光盘表面螺旋样点的高度,针对实验检测误差进行分析并标定,最终计算得到抛光盘表面的实际形状。借鉴数控小工具抛光方法,建立小工具修正下抛光盘的材料去除模型,通过仿真计算得到了在小工具修正范围内抛光盘的材料去除函数,分析了抛光盘的材料去除特性。最后通过小工具修正实验验证了仿真结果的正确性,为抛光盘的形状修正提供理论依据。
- 孙荣康王金栋成聪廖德锋
- 关键词：光学制造去除函数
- 平面抛光盘表面形状误差的检测装置
- 本实用新型提供一种检测精度较高的抛光盘表面形状误差的检测装置。平面抛光盘表面形状误差的检测装置，设置有支撑座，在所述支撑座上端设置有横梁，在所述横梁上设置有导轨和电机，所述电机包括定子和动子，移动块通过滑块设置在所述动子...
- 廖德锋赵世杰谢瑞清陈贤华王健许乔钟波袁志刚邓文辉唐才学徐曦周炼
- 文献传递
- 薄板元件的低应变上盘装置及其方法
- 本发明提供一种薄板元件的低应变上盘装置及其方法。薄板元件的低应变上盘装置，移动溜板设置在第四导轨的丝杆上，出胶阀安装在移动溜板上，通过第三电机带动丝杆旋转使移动溜板沿着第四导轨在Z方向上下移动，第四导轨还设置在第三导轨的...
- 赵世杰张明壮谢瑞清李海波廖德锋田亮张清华李洁郑楠王健许乔
- 文献传递
- 板条激光介质端面角度的抛光装置及其方法
- 本发明提供一种装夹精度高、通用性好、可适应批量化加工的板条激光介质端面角度的抛光装置及其方法。板条激光介质端面角度的抛光装置，由基体、多个位移可调节的压块以及多颗锁紧螺钉组成，在所述基体的侧面上分别设置有支撑板条激光介质...
- 谢瑞清陈贤华雷向阳王健侯晶袁志刚钟波马平郑楠廖德锋李洁李瑞洁
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- 抛光盘弹性模量和蠕变特性在位测量装置
- 本实用新型涉及全口径抛光中抛光盘弹性模量和蠕变特性在位测量装置，包括固定于抛光机床横梁顶部的控制器；与控制器通信连接的显示终端；固定于横梁上的加载力执行器，且与控制器电性连接；测试板，其为圆形板；其顶部与加载力执行器铰接...
- 廖德锋谢瑞清赵世杰孙荣康周炼陈贤华张飞虎张清华王健许乔
- 文献传递
- 全口径平面抛光中抛光盘表面形状的检测方法
- 本发明提供一种全口径平面抛光中检测精度高的抛光盘表面形状的检测方法。全口径平面抛光中抛光盘表面形状的检测方法，该方法包括以下步骤：1）确定移动块运动导轨的直线度误差；2）结合抛光盘的旋转运动和移动块的直线运动测得抛光盘表...
- 廖德锋谢瑞清赵世杰陈贤华王健许乔钟波袁志刚邓文辉唐才学徐曦周炼
- 文献传递
- 一种非接触式厚度测量装置
- 本发明公开了一种光学元件的非接触式厚度测量装置，包括底座、滑动导轨、支撑架、齿条、齿轮、第一激光位移传感器、载物台、第二激光位移传感器、滑台和控制器，所述滑动导轨固定在底座上，所述滑台设置在滑动导轨上；所述支撑架固定在底...
- 谢瑞清赵世杰陈贤华廖德锋田亮钟波周炼徐曦袁志刚邓文辉金会良王健
- 抛光盘包络式修整方法及其装置
- 本发明提供一种可实现大口径平面抛光机的抛光盘高效高精度修整的包络式修整方法及其装置，首先选用较大的切削用量对抛光盘进行快速去除，去除表面大尺度的形状误差，使抛光盘的表面形状误差≤30μm；然后根据修整后的盘面形状来调节修...
- 赵世杰谢瑞清廖德锋张清华周炼陈贤华田亮王健
- 文献传递
- 光学元件全口径抛光中温度分布对元件面形的影响规律及其控制方法研究
- 2022年
- 大口径平面光学元件,尤其是热膨胀系数较大的材料,极易在全口径抛光中受到温度的影响导致面形精度难以控制。建立抛光过程中光学元件温度场的有限元模型,模拟分析全口径抛光过程中空气、抛光液对元件上下表面的温度分布的影响规律;基于接触力学理论和有限元方法建立光学元件与抛光盘的接触力学模型,分析元件变形对抛光压力分布的影响。基于Preston方程探索压力分布对元件表面材料去除分布和面形精度的影响规律;提出控制元件内温度分布、进而提高元件面形精度的方法。结果表明,对于610 mm口径的K9元件,低频面形PV可以达到0.2λ(1λ=0.6328μm)。
- 张飞虎王乙任廖德锋廖德锋李琛
- 关键词：光学元件
