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张巍

作品数：109 被引量：127H指数：7
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：机械工程理学电子电信化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 84篇专利
  • 25篇期刊文章

领域

  • 24篇机械工程
  • 13篇理学
  • 9篇电子电信
  • 4篇化学工程
  • 3篇一般工业技术
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇水利工程
  • 1篇医药卫生
  • 1篇文化科学

主题

  • 37篇光学
  • 28篇光刻
  • 20篇物镜
  • 20篇镜框
  • 20篇光学元件
  • 17篇投影光刻
  • 17篇光刻物镜
  • 14篇投影光刻物镜
  • 13篇碳化硅
  • 13篇像差
  • 10篇投影物镜
  • 9篇变形镜
  • 8篇陶瓷
  • 7篇驱动器
  • 7篇紫外光刻
  • 6篇衍射
  • 6篇碳化硅陶瓷
  • 6篇镜片
  • 6篇激光
  • 6篇光束

机构

  • 109篇中国科学院长...
  • 5篇中国科学院大...
  • 3篇中国科学院研...
  • 2篇中国科学院
  • 1篇长春长光精瓷...

作者

  • 109篇张巍
  • 42篇隋永新
  • 42篇倪明阳
  • 41篇杨怀江
  • 37篇巩岩
  • 34篇赵磊
  • 20篇王学亮
  • 17篇李显凌
  • 16篇袁文全
  • 14篇张舸
  • 11篇田伟
  • 10篇崔聪聪
  • 9篇李佩玥
  • 8篇芮大为
  • 7篇于新峰
  • 6篇刘春来
  • 6篇刘震宇
  • 6篇谢军
  • 5篇包建勋
  • 5篇陈华男

传媒

  • 8篇光学学报
  • 3篇光学精密工程
  • 3篇光电工程
  • 2篇激光与光电子...
  • 2篇中国激光
  • 2篇光子学报
  • 2篇中国光学
  • 1篇光学技术
  • 1篇机械与电子
  • 1篇中国光学与应...

年份

  • 2篇2024
  • 2篇2023
  • 1篇2022
  • 2篇2021
  • 7篇2020
  • 4篇2019
  • 7篇2018
  • 11篇2017
  • 19篇2016
  • 9篇2015
  • 10篇2014
  • 4篇2013
  • 4篇2012
  • 14篇2011
  • 8篇2010
  • 2篇2009
  • 3篇2008
共 109 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种含有缺陷的碳化硅素坯及其制备方法、无损检测方法
本发明提供了一种含有缺陷的碳化硅素坯及其制备方法、无损检测方法，该碳化硅素坯的制备方法包括以下步骤：在制备碳化硅生坯过程中加入固态有机物，并进行成型；对成型后的碳化硅坯体进行加热处理以使固态有机物分解，即得到含有缺陷的碳...
徐传享崔聪聪张舸朱万利张巍李伟
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一种胶合镜片结构及其制作方法
本发明实施例公开了一种胶合镜片结构及其制作方法，包括至少两片光学镜片，相邻的两片光学镜片之间填充设置液体胶合层以及围绕所述液体胶合层的密封胶层，本发明的主要优点是液体胶合工艺过程简单高效，既不需要专业的胶合层固化设备，也...
吴志会王东平华洋洋倪明阳李显凌张巍隋永新杨怀江
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一种碳化硅陶瓷基复合材料的制备方法及碳化硅陶瓷基复合材料
本发明提供的碳化硅陶瓷基复合材料的制备方法，对碳纤维表面进行氧化处理，采用硅烷偶联剂接枝法在所述碳纤维表面接枝碳化硅纳米粒子，使聚碳硅烷先驱体溶液在接枝碳化硅纳米粒子后的碳纤维表面浸渍、固化及高温裂解形成碳纤维增强碳化硅...
张舸张巍郭聪慧张永刚文章苹
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一种一体式轴向精密微调装置
本发明涉及深紫外投影光刻物镜技术领域，具体公开一种一体式轴向精密微调装置。本发明提供一种一体式轴向精密微调装置，包括镜框、驱动器，镜框为圆环结构，包括平动部、固定部和连接部，平动部和固定部由沿圆周的间接切割线分开，连接部...
陈华男郭抗倪明阳李显凌张巍隋永新杨怀江
倾斜可调的吊装装置
倾斜可调的吊装装置，涉及吊装装置领域，解决了现有吊装装置存在的只能在水平方向和竖直方向调节，无法实现倾斜的调节的问题。该装置包括中心轴、下调整板、球轴承、套筒、上调整板、碟形弹簧、吊环、水平仪和倾斜调节执行结构；球轴承套...
东立剑刘春来倪明阳张巍隋永新杨怀江
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压电陶瓷驱动装置
本发明涉及位移控制技术领域，尤其涉及一种压电陶瓷驱动装置，包括一电压基准、一微处理器、第一数模转换器、第二数模转换器、第一电压放大器、第二电压放大器及压电陶瓷，微处理器的两输出端分别与所述第一数模转换器及第二数模转换器的...
王学亮李佩玥张巍隋永新杨怀江
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一种用于光学测量的积分球装置
一种用于光学测量的积分球装置，涉及光学测量技术领域，它解决现有积分球装置结构的对称性差、光源发热控制不力和采样口通光量不可调节的问题，本发明装置的第一半积分球球壳与第二半积分球球壳紧固在一起形成一个空心球壳；中心挡光板固...
巩岩倪明阳赵磊张巍王学亮袁文全
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一种四叶像差变形镜装置
一种四叶像差变形镜装置属于光学系统的系统像差补偿领域，目的在于解决现有技术存在的难以检测弹片位移量和引入的刚体位移大的问题。本发明包括光学元件、可变形镜框、八个致动器、八个位移传感器、上固定板和下固定板；光学元件与可变形...
刘震宇赵磊谢军杨怀江隋永新张巍
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一种三叶像差变形镜装置
一种三叶像差变形镜装置属于光学系统的系统像差补偿领域，目的在于解决现有技术存在的安装检测困难和引入刚体位移大的问题。本发明包括光学元件、可变形镜框、六个致动器、六个位移传感器、上固定板和下固定板；光学元件与可变形镜框之间...
隋永新赵磊刘震宇谢军杨怀江张巍
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一种光刻投影物镜中镜片的支撑装置
一种光刻投影物镜中镜片的支撑装置，涉及深紫外光刻机投影物镜镜头制造与装调技术领域。解决现有光刻投影物镜的加工制造过程中光学镜片的支撑由于受到装调力和加工误差的影响，降低镜片的面形精度的问题，该装置包括支座和镜框，镜片通过...
倪明阳巩岩张巍赵磊王学亮袁文全
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