张维富
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 供职机构：合肥工业大学仪器科学与光电工程学院更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程更多>>
- 微纳米三坐标测量机驱动与控制系统的研究（英文）被引量：1
- 2013年
- 本文主要介绍了纳米三坐标测量机的驱动系统。纳米三坐标测量机是一个十分复杂的系统,包括复杂的机械结构,精密的信号处理系统,灵敏的测头系统,精密的驱动系统以及其他的系统和模块。在本研究系统中,基于DVD读取头的新型的三维测量测头应用于三维测量以及定位。三个压电线性电机作为纳米三坐标测量机的驱动电机。机械机构的运动平台按照特殊的原理设计,可以最大化的消除阿贝误差。长度测量系统采用了激光回馈干涉仪。所提出的驱动与控制策略,可以实现长距离纳米级精度的快速精密驱动以及定位。X、Y、Z三个方向上的行程为50mm×50mm×50mm。目前,本系统可以实现对不定距离的单方向的快速稳定的逼近,并有效防止过冲。在一维内,不同位置点的定位波动可以被控制在±4nm左右。经过目前的测试,本系统适用于纳米三坐标测量机的驱动与控制任务。
- 黄强先宫二敏韩彬张维富徐从裕
- 关键词：纳米三坐标测量机压电直线电机反馈控制
- 纳米三坐标测量机驱动与控制系统设计
- 纳米三坐标测量机(Nano-CMM)是对微型机械器具如MEMS器件,微齿轮等器件的几何量测量,不可或缺的工具。驱动与控制系统作为纳米三坐标测量机一个重要的子系统,有特别要求,例如纳米尺寸的分辨率,低热效应,低振动以及快速...
- 张维富
- 关键词：坐标测量机压电直线电机闭环反馈控制系统
- 文献传递
