方东明
- 作品数：10 被引量：18H指数：3
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：“上海－应用材料研究与发展”基金教育部科学技术研究重大项目国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电气工程电子电信理学交通运输工程更多>>
- MEMS技术制作的螺线管微电感被引量：1
- 2006年
- 考虑和分析了螺线管微电感的几何结构参数对微电感性能的影响,利用MEMS技术制作了四种不同几何结构的高性能射频螺线管微电感。这些微电感采用铜线圈,以减小线圈寄生电阻,且制作工艺简单,成本低,与IC相兼容。测试结果表明,微电感在较宽的工作频率范围内具有较高的Q值,在频率分别为6 GHz,4.4 GHz,5.8 GHz和5.6 GHz,微电感Q峰值为38,19.1,24.1和21.9,所对应的电感量为1.81 nH,1.07 nH,1.03 nH和1.17 nH。
- 方东明周勇赵小林王西宁
- 关键词：微机电系统品质因素射频
- 高性能螺线管微电感的制作被引量：2
- 2006年
- 利用MEMS技术制作了高性能的空芯螺线管型射频微机械电感.这种微电感采用铜线圈以减小线圈寄生电阻,整个微电感的面积是880μm×350μm,与平面螺旋型微电感相比,有效地节省了芯片面积.测试结果表明,微电感在较宽的工作频率范围内具有高Q值,微电感最大Q值为38(@6GHz),对应的电感量为1·82nH.
- 方东明周勇赵小林
- 关键词：射频微机电系统品质因素
- Ni-P+Ni双镀层的制备与可靠性考核
- 2005年
- 在钢基化学镀Ni-P镀层上再电镀上1层镍,成功制得Ni-P+Ni双镀层,并对Ni-P镀 层和Ni-P+Ni双镀层进行可靠性试验,结果表明Ni-P+Ni双镀层表面光亮,其致密性和可靠 性都比Ni-P镀层好,对提高金属抗蚀性和防护性有着重要的意义。
- 鲍恒伟黄刚方东明
- 关键词：NI-P化学镀镀镍可靠性
- 静电驱动可调微机械电容被引量：1
- 2007年
- 利用简单MEMS技术制作了高品质因数的射频可调微机械电容.此电容由静电驱动,利用WYKONT1100光学表面轮廓仪测量在不同外加直流电压下可变电容的表面轮廓和位移等信息.测试结果表明,电容的吸合电压为13.5V,电容可调比为1.31:1,在1GHz下品质因数为51.6,电容值为0.79pF.
- 方东明付世周勇赵小林
- 关键词：可调电容射频微机电系统品质因数
- 小净距重叠盾构隧道监控量测技术研究
- 随着城市地下空间的开发，地下建（构）筑物、设施、管线日益增多，周边环境日益复杂，为了更加有效地利用城市地下空间，重叠盾构隧道的形式将大量出现。 隧道监控量测技术是盾构隧道施工的一项重要内容，通过它可以准确获取施工信息，...
- 方东明
- 关键词：盾构施工监控量测施工安全
- 文献传递
- 射频螺线管微电感的设计和仿真
- 为了获得高性能MEMS螺线管微电感,本文考虑了几何结构参数对微电感性能的影响,用HFSS软件对特定结构的微电感进行仿真,仿真结果与实验研制的测量结果基本相符.测试结果表明微电感在较宽的工作频率范围内具有高Q值,可以应用在...
- 方东明赵小林王西宁周勇
- 关键词：HFSS品质因素射频微机电系统
- 文献传递
- RF MEMS微电感和微电容的制造技术及其特性研究
- 随着无线通信系统向小型化、低电压、低功耗、多功能、高性能和更高频方向发展,现有的半导体工艺无法满足射频通信部件的高性能和小型化,导致现有的无线通信系统体积庞大、成本高、工作频率低。RF-MEMS采用MEMS技术研制各种无...
- 方东明
- 关键词：射频微机电系统微电感可变电容电感量HFSS仿真
- 文献传递网络资源链接
- 过渡族金属掺杂ZnO薄膜的晶体结构和磁性能被引量：1
- 2006年
- 采用电子束蒸发法制备了过渡族金属(Fe、Co、Cu)掺杂ZnO薄膜。分析和研究了衬底温度以及Cu掺杂量对薄膜相结构的影响,获得沿c轴高度择尤取向的高质量ZnO薄膜。采用原子力显微镜(AFM)观察薄膜的显微结构,利用所得的图象信息对薄膜进行分析,发现400℃的衬底温度对硅衬底薄膜是合适的,与XRD分析相吻合。通过对薄膜磁性能的分析和研究,得出一些有意义的结果:适量Fe、Co离子掺杂的ZnO薄膜,在室温下具有铁磁性,而在此基础上掺入少量的Cu离子能改善薄膜的磁性能。
- 方东明周勇赵小林
- 关键词：ZNO薄膜掺杂电子束蒸发磁性能
- 微型电磁式振动能量采集器的设计和电磁特性仿真研究被引量：6
- 2008年
- 为了设计出结构合理、性能优良的微型电磁式振动能量采集器,利用Ansoft Maxwell软件对模型的结构参数和输出电动势之间的关系进行有限元仿真,分析发现:随着圆形永磁体厚度、悬臂梁振幅的增加及悬臂梁和永磁体间距的减小,输出电动势逐渐增加;在永磁体半径不断增加的过程中,输出电动势会出现一极大值。根据优化原则设计出结构参数如下的模型:圆形SmCo28永磁体厚度为1 mm,半径为2 mm,悬臂梁振幅为1 mm,永磁体和悬臂梁之间的距离为1.02 mm。该模型的最大输出电动势为26 mV,最大输出功率为5.633μW。
- 王佩红戴旭涵方东明赵小林
- 关键词：半导体技术结构优化计算机仿真
- 射频螺线管微电感的设计和仿真被引量：4
- 2006年
- 为了获得高性能MEMS螺线管微电感,考虑了几何结构参数对微电感性能的影响,用HFSS软件对特定结构的微电感进行仿真,仿真结果与实验研制的测量结果基本相符.测试结果表明微电感在较宽的工作频率范围内具有高Q值,可以应用在无线通讯领域.
- 方东明赵小林王西宁周勇
- 关键词：HFSS品质因素射频微机电系统
