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方东明

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：北京大学更多>>
发文基金：中国博士后科学基金更多>>
相关领域：电气工程机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电气工程

主题

  • 4篇螺旋线圈
  • 3篇电感
  • 3篇电感量
  • 3篇微机电系统
  • 3篇可调
  • 3篇可调电感
  • 3篇机电系统
  • 3篇电系统
  • 2篇导体
  • 2篇电磁式
  • 2篇电镀
  • 2篇电感器
  • 2篇电感器件
  • 2篇振动膜
  • 2篇微机械
  • 2篇静电驱动
  • 1篇调谐
  • 1篇品质因素
  • 1篇可调谐

机构

  • 5篇北京大学

作者

  • 5篇方东明
  • 5篇张海霞
  • 4篇袁泉
  • 2篇刘健

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 2篇2011
  • 1篇2010
  • 2篇2009
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
静电驱动导体薄膜的MEMS可调电感及制备方法
本发明涉及一种静电驱动导体薄膜的MEMS可调电感及制备方法。本发明采用体硅和表面微机械加工技术相结合的三维微机械加工方法，利用体硅微机械加工技术的方法刻蚀硅片V型槽，在V型槽内制作静电驱动的固定极板，利用表面微机械加工技...
方东明袁泉刘健张海霞
文献传递
微型电磁式能量采集器及制备方法
本发明涉及一种微机电系统(MEMS)电磁式能量采集器及制备方法，它采用体硅和表面微机械加工技术相结合的三维微机械加工方法，利用体硅微机械加工技术的方法刻蚀硅片V型槽，在V型槽内电镀能量采集器的永磁体(阵列)，利用表面微机...
袁泉方东明张海霞
文献传递
微型电磁式能量采集器及制备方法
本发明涉及一种微机电系统(MEMS)电磁式能量采集器及制备方法，它采用体硅和表面微机械加工技术相结合的三维微机械加工方法，利用体硅微机械加工技术的方法刻蚀硅片V型槽，在V型槽内电镀能量采集器的永磁体(阵列)，利用表面微机...
袁泉方东明张海霞
文献传递
静电驱动导体薄膜的MEMS可调电感及制备方法
本发明涉及一种静电驱动导体薄膜的MEMS可调电感及制备方法。本发明采用体硅和表面微机械加工技术相结合的三维微机械加工方法，利用体硅微机械加工技术的方法刻蚀硅片V型槽，在V型槽内制作静电驱动的固定极板，利用表面微机械加工技...
方东明袁泉刘健张海霞
文献传递
可调谐微机电电感(英文)
2010年
射频可调谐微电感在当前发挥着重要作用,它能满足高性能紧凑型器件设计的要求。对于器件设计者来说,可调电感能调谐电感量并能保证较高或适当的品质因素(Q值),这种能力在可调谐系统中比可调电容更有优势,因为可调电容可靠性较低并且大量占用基片面积。可调电感能节省芯片面积,它为将来便携式通讯系统所需的大范围可调谐系统提供一个优选的方案。因此,从器件角度对可调电感进行综述。根据可调电感的调谐机制,可调电感可分为四大类:离散型、金属屏蔽型、磁芯调谐型和线圈耦合型。对文献报道的可调电感进行概括,讨论这些可调电感优点和缺点,同时也介绍了这些可调电感的制备工艺、结果比较和其应用等。
方东明张海霞
关键词：可调电感电感量品质因素微机电系统
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