李凤有
- 作品数：41 被引量：328H指数：13
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国科学院知识创新工程中科院创新基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信理学生物学更多>>
- 灰度掩模技术被引量：23
- 2000年
- 二元光学被誉为“1 990年代的光学技术” ,在国防、科研、生产等领域都显示出广阔的应用前景。衍射光学元件有很多制作方法 ,比较成熟的有二元光学元件加工方法和激光或电子束直写技术加工方法。二元光学元件加工方法存在周期长、成本高且对准较困难的缺点。激光或电子束直写技术所需设备比较昂贵 ,只适合高精度单件生产。介绍了近来发展起来的另一种比较有前途的加工方法一灰度掩模法 ,并展望了其发展前景。
- 李红军李凤有于利民曹颖静卢振武廖江红翁志成
- 关键词：二元光学衍射光学元件激光直写灰度掩模
- 大口径球面计算全息图检测样板的制作研究
- 凸非球面检测问题一直是限制其应用的主要瓶颈,在凹球面上制作出计算全息图,通过设计使其衍射面与待检凸非球面一致,可实现凸非球面的检测.量化了用于检测凸非球面的球面计算全息图样板,给出了球面计算全息图样板的位相结构,利用极坐...
- 李凤有卢振武孙强王肇圻
- 关键词：衍射光学计算全息图激光直写光刻
- 文献传递
- 近柱面干涉检测研究被引量：2
- 2005年
- 采用计算机仿真技术模拟了近柱非球面的正入射式检测装置。获取并分析了理想近柱面和理想柱透镜下的干涉图。讨论了降低干涉图P-V值的方法以及不同面形的近柱面在该装置下的可检性。
- 谢本超卢振武李凤有孙强
- 关键词：光学检测柱透镜干涉图
- 基于ZEMAX软件的重叠复眼的模拟与分析
- 介绍了重叠复眼及其优点。与并列型复眼相比,重叠复眼有更高的光能量利用率和更高的灵敏度.首次利用ZEMAX软件对重叠复眼进行了实例模拟,通过光线追迹,详细分析了其工作原理,并且将重叠复眼与并列复眼在灵敏度和光能量利用率两方...
- 张红鑫卢振武李凤有刘华孙强
- 关键词：灵敏度光能量光线追迹
- 文献传递
- 激光直接写入系统曝光量分布分析
- 基于直角坐标激光直接写入系统和极坐标激光直接写入系统,分别给出了曝光量分布的计算公式,讨论了曝光量分布和光强分布之间的差别。用曝光量分布预测了显影后抗蚀剂中线条的面形。实验结果与理论分析相吻合。
- 谢永军卢振武李凤有翁志成赵晶丽
- 关键词：物理光学衍射光学
- 文献传递
- 二元光学元件激光直接写入设备
- 卢振武邢忠宝张景和邹振书廖江红翁志成张新刘伟肖文礼熊木地李凤有李志来宋立维
- 项目研制的二元光学元件激光直接写入设备是新型大尺寸光刻设备，主要用于二元光学元件的制作，其质量明显优于机械刻划方法。其主要创新点如下：1、创造性地实现了在同一设备上完成曲面直角和极坐标两种光刻方式，降低了设备的研制费用，...
- 关键词：
- 关键词：二元光学元件计算机控制
- Lyot星冕仪光学系统及杂散光抑制被引量：1
- 2022年
- 木卫一等离子体环是木星磁层中密度最大、研究最广泛的区域。为满足木卫一等离子体环的观测需求,设计了一种用于行星大气光谱望远镜(Planetary Atmospheric Spectral telescope,PAST)的Lyot星冕仪。根据木星的辐射特性与PAST参数确定仪器参数,给出Lyot星冕仪的初始结构并进行优化;分析了Lyot星冕仪的成像性能,系统在37 lp/mm的MTF>0.6,满足成像质量要求;确定系统杂散光成因,利用物像共轭关系设计相应的杂散光抑制结构,在千级超净间对Lyot星冕仪进行杂散光抑制水平检测。实验结果表明:系统主要杂散光得到了有效抑制,系统的杂散光抑制水平在2.5Rj处为10-5量级,满足地基观测木卫一等离子体环要求。
- 迟金鹏张红鑫王晓东孟庆宇秦子长李云辉王泰升李凤有
- 关键词：光学设计光学遥感天文仪器杂散光
- 亚微米尺寸元件的离子束刻蚀制作被引量：5
- 2003年
- 采用软光刻技术中的微接触印刷 (μCP)技术、表面诱导的水蒸气冷凝、表面诱导的去湿行为 ,在金基底上制作出了亚微米的环状周期结构聚合物掩膜 通过对离子束刻蚀过程中各个参量对刻蚀元件的表面光洁度、轮廓保真度和线宽分辨的影响分析 ,结合掩膜的实际情况选择出了合适的离子束入射角、离子能量、束流密度和刻蚀时间等参量 依照这些参量刻蚀出了高质量的亚微米尺寸环状周期结构元件 通过对刻蚀出的元件的检测发现 ,刻出的元件表面光洁度。
- 曹召良陆广王吉增杨柏卢振武李凤有任智斌刘玉玲
- 关键词：离子束刻蚀离子能量刻蚀速率软光刻衍射光学元件亚波长光栅
- 一种凸非球面检验干涉仪
- 一种凸非球面检验干涉仪,属于光学检验技术领域中的一种对凸非球面面型的检验设备。本实用新型要解决的技术问题是:能够检验大曲率凸非球面面型,解决技术问题的技术方案是:检验样板采用位相型折衍混合检验样板。本实用新型是由激光光源...
- 李凤有卢振武
- 文献传递
- 亚波长周期结构光栅的制作工艺和理论关系研究
- 利用严格耦合波理论（RCWA）从两方面研究了亚波长周期结构光栅的理论计算结果和制作工艺的关系:一是理论设计光栅时,理论结果和制作工艺的最佳结合问题;二是制作具有一定应用要求的光栅时,应用要求、理论和制作工艺的最佳结合来选...
- 曹召良卢振武李凤有孙强
- 关键词：占空比光栅周期刻蚀深度
- 文献传递
