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喷射式电化学加工及其与激光复合加工技术的研究: 喷射式电化学加工及其与激光复合加工技术,作为无膜电化学微加工技术的崭新的分支,近年来得到广泛的重视.该技术可应用于导电材料的打孔、切槽、打标及加工三维型腔.该文研究了喷射式电化学阳极溶解的规律、激光与材料的作用机理,在此...; 李灵; 关键词：激光加工阳极溶解; 文献传递

水导激光微细加工技术研究: 针对MEMS(Micro Electro Mechanical System)器件制造出现了许多新型微细加工方法，如LIGA(Lithograthie Galvanoformung Abformung)加工、电火花微细加...; 李灵; 关键词：微细加工 MEMS器件 ANSYS有限元分析

水导激光微细加工中激光与水束光纤耦合技术被引量：18: 2008年; 为了保证水导激光微细加工中会聚激光与水束光纤的耦合效果,建立了由一个高精度耦合对准检测调整系统和一个特殊结构耦合装置组成的新的耦合系统,并提出了新的耦合对准方法。由于激光要经过空气层、玻璃层、水层进入水束光纤,因此根据计算结果,采用激光烧斑法来确定会聚透镜与水束光纤起始端(喷嘴孔)的距离;研究了激光在水束光纤中发生全反射的最大入射角;通过流体动力学仿真,设计了腔内流场分布均匀的耦合装置,保证了直径0.12 mm的水束光纤的高耦合品质;研究了激光能量在水束光纤中的衰减,采用特定波长和脉冲能量的激光和特殊过滤的去离子水来减小激光能量在水束光纤中耦合的损耗率。实验结果表明,水束光纤导光长度超过100 mm;采用该耦合技术能够在0.2 mm厚的硅基晶片上以2 mm/s速度切割出缝宽为0.12 mm的均匀窄缝,且几乎无裂纹、无热影响区。该耦合技术能够很好地满足水导激光微细加工的要求。; 李灵杨立军王扬刘备王哲; 关键词：激光微细加工全反射光纤耦合仿真

非常规激光加工技术的研究被引量：20: 2011年; 常规激光加工技术是利用高温使材料熔化或气化而达到加工目的,但是常导致加工区域热影响区和微裂纹的影响。着重探讨了水导激光加工过程中的激光与液束耦合原理及加工效果,分析了体加热激光切割玻璃过程中的温度场和应力场,以及曲线切割和多层玻璃激光切割技术。针对两种非常规激光加工技术——水导激光加工和体加热激光切割玻璃技术,进行了理论分析及仿真技术研究,建立了两种加工技术的实验系统,利用该系统进行大量的实验研究,获得了较好的加工效果,为实际加工奠定了理论及实验基础。; 王扬李春奇杨立军张宏志吴雪峰蔡娜李灵; 关键词：激光加工不锈钢

金属薄板三维激光弯曲成形的试验研究: 本文研究了不同扫描路径三维激光成形的成形形状和激光参数之间的关系.不同扫描路径可以在板材表面形成既连续又分离的扫描轨迹,在板材上形成不规则的时空上的激光能量分布,诱导板材内部应力分布成形三维形状.试验采用脉冲式Nd:YA...; 王扬李灵杨立军Mokhtar Djendel齐立涛; 关键词：薄板

水导激光微细加工试验研究: 水导激光微细加工依据全反射原理，由水束导引激光实现加工。研制的新型耦合装置，易于调整激光束和水束位置，耦合效率高，其特殊结构保证了形成高速、稳定、纤细、大加工长度水束。进行了水束稳定性试验和打孔、切割试验，结果表明：激光...; 李灵王扬杨立军; 关键词：激光技术微细加工激光加工; 文献传递

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李灵