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李玲珍

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：东南大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇氧化钽
  • 1篇湿敏
  • 1篇湿敏器件
  • 1篇溅射
  • 1篇反应溅射

机构

  • 1篇东南大学

作者

  • 1篇张浩康
  • 1篇李玲珍
  • 1篇张随新
  • 1篇陈国平

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇1990
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
氧化钽感湿薄膜的研究被引量：1
1990年
在Ar-O_2混合气氛中采用直流磁控反应溅射沉积制得了氧化钽薄膜.文章介绍了沉积薄膜的实验装置与工艺,叙述了反应溅射的过程与机理.用AES、XPS和X射线衍射研究了薄膜的成分与结晶结构,用Ta_2O_5薄膜研制成Si-MOS薄膜湿敏器件.测试结果表明:这种新的湿敏器件具有高的灵敏度和非常快的响应速度.
陈国平李玲珍张随新张浩康
关键词：湿敏器件反应溅射
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共1页<1>
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