杨伟声
- 作品数：10 被引量：23H指数：3
- 供职机构：昆明物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国人民解放军总装备部预研基金国防基础科研计划更多>>
- 相关领域：理学电子电信机械工程更多>>
- LaF3作低折射率膜料制备Ge基底高性能长波红外增透膜被引量：1
- 2020年
- 为改善Ge基底红外长波增透膜的耐恶劣环境性,研究了LaF3晶体作为低折射率材料的膜系设计过程和制备工艺。通过优化膜系结构和分段制备LaF3层技术获得了高光学性能的多层增透膜。在8~12μm波段,峰值透过率达到98.3%,双面镀膜平均透过率从48.4%提高到96.2%。力学性能、环境试验结果显示,基于LaF3材料的长波高效增透膜在保持高的光能量透过的同时还可以经受较为恶劣的环境测试。
- 程海娟程海娟杨伟声蔡毅于晓辉李汝劼王柯赵劲松
- 关键词：LAF3长波红外
- 近红外截止滤光膜(IR-CUT)的设计与镀制
- 针对近红外截止滤光膜具有通带波段内平均透射率高,抑制带截止深度深,波纹系数小,可适应复杂环境条件,具有高稳定性和高可靠性等特点,论述了近红外截止滤光膜的设计原则和方法,采用IAD等离子体辅助沉积工艺,镀制红外截止滤光膜,...
- 杨伟声
- 文献传递
- 离子束辅助沉积(IAD)镀制抗电磁干扰与减反射复合薄膜被引量：1
- 2014年
- 在K9玻璃基底上将两种物理性能完全不同的薄膜形成组合膜系层,实现了抗电磁干扰、高透光的效果。技术指标为:在400nm-1100nm宽波段范围平均透光率不低于90%;为达到良好的抗电磁干扰屏蔽效果,抗电磁屏蔽其方块电阻值为4±0.5Ω/口。为满足设计技术指标要求,计算设计了抗电磁干扰与减反射复合膜系结构,进行了镀膜工艺实验。实验结果表明,通过采用离子束辅助沉积工艺技术,可改善光学薄膜的微观结构,进而提高了复合薄膜的光学、物理性能和膜层的稳定性。
- 杨伟声
- 碲镉汞红外焦平面器件表面复合膜层钝化技术被引量：5
- 2015年
- 碲镉汞(Hg1-xCdxTe)红外器件的制备过程中,表面钝化工艺对于器件性能具有很大影响。通过实验,研究了溅射功率、靶基距、基片摆动角度等工艺参数对碲镉汞衬底上制备的CdTe/ZnS复合钝化膜层质量的影响。实验结果表明,当CdTe与ZnS溅射靶功率分布为140 W与350 W,靶基距为40cm,基片摆动角度为±30°时,中心2英寸区域膜层非均匀性达到±3%以内,同时钝化膜层表面粗糙度与附着能力获得了较大改善。
- 韩福忠耿松史琪袁授章杨伟声蒋俊汤金春
- 关键词：碲镉汞红外探测器表面钝化
- ZnO缓冲层对Mg_(0.3)Zn_(0.7)O紫外探测器的影响被引量：2
- 2018年
- 利用溶胶-凝胶法制备了Mg_(0.3)Zn_(0.7)O薄膜,并制作了金属-半导体-金属结构的深紫外探测器。研究了高质量ZnO缓冲层的引入对Mg_(0.3)Zn_(0.7)O薄膜的吸收谱和结晶特性以及Mg_(0.3)Zn_(0.7)O紫外探测器响应参数的影响。实验结果表明:ZnO缓冲层的引入使Mg_(0.3)Zn_(0.7)O薄膜的紫外-可见光吸收谱有轻微的红移,但可以明显提高薄膜的结晶质量,同时ZnO/Mg_(0.3)Zn_(0.7)O探测器的I-V特性表明,ZnO缓冲层的引入可以显著提高器件的光电流,改善其响应特性,在20V偏压下将Mg_(0.3)Zn_(0.7)O探测器的响应度由0.035A/W提高至0.63A/W。
- 黄志娟喻志农杨伟声李言苏秉华薛唯
- 关键词：溶胶-凝胶法紫外探测器
- IGZO薄膜溅射功率对IGZOTFT栅电压不稳定性的影响被引量：1
- 2014年
- 采用不同溅射功率制备的铟镓氧化锌(IGZO)薄膜作为薄膜晶体管(TFT)的有源层,通过扫描电镜、霍尔效应测试仪,分析了溅射功率对IGZO薄膜形貌及电特性的影响,研究了不同IGZO溅射功率对IGZO-TFT栅偏压不稳定性的影响。结果表明,在一定范围内,低溅射功率使得IGZO薄膜的表面粗糙,缺陷较多,载流子浓度较低;在正栅极偏压作用下,低IGZO薄膜溅射功率导致较大的IGZO-TFT阈值电压漂移;在负偏压作用下不产生阈值电压漂移。
- 柳逢春喻志农杨伟声郑红川张世玉
- 关键词：薄膜晶体管IGZO溅射功率
- 离子束辅助沉积(IAD)真空镀膜技术研究
- 在红外光学系统中，绝大多数红外光学元件必须镀制减反射膜来降低表面反射损失，高性能的红外减反射膜是红外光学系统的一个关键部分。同时，由于使用环境恶劣，红外光学元件通常除了必须具有较高的光学性能外，还必须具有较好的耐环境能力...
- 杨伟声
- 关键词：离子束辅助沉积增透膜红外波段真空镀膜红外光学
- 文献传递
- 短中波红外探测系统宽波段高透过率薄膜被引量：5
- 2019年
- 短中波红外探测系统能够同时响应短波红外及中波红外两个波段,可以满足复杂探测环境的使用要求,在军用及民用方面获得了广泛应用。为提高红外探测器的精度,缩短响应时间,需要研制满足系统要求的宽波段高透过率薄膜。结合Baumesiter减反射膜设计理论,对变尺度算法的评价函数进行了优化,建立了新型加权评价函数模型,在2.6~3.3μm的水吸收波段,根据模型设计了低敏感度高容差的膜系结构。并针对水吸收波段优化制备技术,研究了不同离子源辅助沉积参数对MgF2光谱特性的影响,同时采用阶梯性退火工艺,得到了一种有效降低水吸收的方法。最终所制备的薄膜在1.5~5μm波段范围内光谱透过率大于96.5%。
- 付秀华张功张静刘冬梅杨伟声木锐
- 关键词：光学薄膜减反射膜离子束辅助沉积红外探测
- Ge基底LaF3-ZnS-Ge高耐用中波红外增透膜被引量：8
- 2019年
- 研究了LaF3材料的蒸发特性及其在2.5~12μm红外波段的光学常数,并将LaF3晶体作为低折射率材料在Ge基底上制备了中波红外3.7~4.8μm波段高耐用性增透膜。SEM照片显示,基于LaF3材料的高耐用性增透膜表面纳米晶粒分布均匀致密,表面光洁度高。利用傅里叶变换红外光谱仪测试了其光谱特性,在3.7~4.8μm波段,峰值透射率达到99.4%,双面镀膜平均透射率由47.7%提高到98.8%。牢固度、耐久性等环境试验结果显示,膜层在保持高的光学性能的同时还可以在较为严苛的恶劣环境中使用。
- 程海娟于晓辉彭浪普群雁蔡毅李茂忠杨伟声白玉琢赵劲松王岭雪
- 关键词：LAF3增透膜中波红外
- 红外增透膜研究
- 2014年
- 在8～12μm红外范围内Ge基底上设计和制备的一面宽带减反膜和一面介质＋DLC膜。薄膜材料Ge、ZnS和YF3由电子束沉积法制得，DLC膜由PEVCD制得。阐述了利用非均匀膜理论设计红外减反射薄膜的方法，所设计的红外减反射膜膜系优化结果较为理想。经过研究分析我们选择了氟化钇来进行此项研究并加以RF源（射频源）辅助镀膜，并用计算机修正来矫正真空镀膜法生产宽带增透膜时实验值与理论值存在的偏差。取得了良好的效果。用沈科仪镀膜机采用PECVD镀制DLC膜方面的也有很好的效果。
- 孙可祥杨伟声
- 关键词：红外增透膜DLC膜
