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樊英民

作品数：48 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
相关领域：电子电信文化科学自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 44篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 5篇电子电信
  • 2篇机械工程
  • 2篇自动化与计算...
  • 2篇文化科学
  • 1篇经济管理
  • 1篇矿业工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 15篇半导体
  • 12篇半导体测试
  • 8篇探针
  • 6篇针尖
  • 5篇原子力显微镜
  • 5篇声表面波
  • 5篇显微镜
  • 5篇光谱
  • 4篇等离激元
  • 4篇电学
  • 4篇真空阀
  • 4篇真空阀门
  • 4篇振动
  • 4篇显微镜系统
  • 4篇介质层
  • 4篇近场光学
  • 4篇近场光学显微...
  • 4篇局域
  • 4篇机械振动
  • 4篇隔离层

机构

  • 46篇中国科学院
  • 1篇西北大学
  • 1篇苏州纳维科技...

作者

  • 47篇樊英民
  • 45篇徐科
  • 45篇钟海舰
  • 45篇刘争晖
  • 41篇徐耿钊
  • 19篇黄增立
  • 16篇王建峰
  • 12篇邱永鑫
  • 12篇曾雄辉
  • 12篇周桃飞
  • 2篇黄凯
  • 1篇杨辉
  • 1篇秦华
  • 1篇刘立伟

传媒

  • 1篇储能科学与技...
  • 1篇第十一届全国...

年份

  • 2篇2019
  • 4篇2018
  • 6篇2017
  • 3篇2016
  • 7篇2015
  • 2篇2014
  • 9篇2013
  • 11篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2010
  • 1篇2008
共 48 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
等离激元窄带吸收薄膜
本发明提供一种等离激元窄带吸收薄膜，包括基底层及设置于所述基底层表面的介质层，还包括设置在所述介质层表面的隔离层及设置在所述隔离层表面的介电颗粒层，所述介电颗粒层由多个介电颗粒按一定周期排列形成。本发明的优点在于：1、相...
黄增立王建峰刘争晖徐耿钊钟海舰樊英民徐科
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电场增强结构
本发明提供一种电场增强结构，包括基底层及设置在所述基底层表面的介质层，还包括设置在所述介质层表面的隔离层及设置在所述隔离层表面的介电颗粒层，所述介电颗粒层由多个介电颗粒形成，所述介电颗粒的折射率大于所述隔离层的折射率。本...
黄增立王建峰刘争晖徐耿钊钟海舰樊英民徐科
用于近场光学显微镜的探针及其制备方法
本发明提供一种用于近场光学显微镜的探针，包括悬臂梁基底、设置在所述悬臂梁基底上的半导体针尖，设置在半导体针尖上的两个金属电极，所述两个金属电极相对设置，所述半导体针尖与两个金属电极形成用于将光信号转换为电信号的金属-半导...
徐耿钊樊英民刘争晖钟海舰黄增立徐科
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材料表面局部光谱测量装置及测量方法
本发明提供材料表面局部光谱测量装置及测量方法，属于半导体测试技术领域。装置包括反应腔、光源和光谱仪，光源和光谱仪均与反应腔相连，反应腔又包括第一真空腔、第二真空腔、真空阀门、真空传递装置、聚焦离子束刻蚀装置和光路耦合装置...
徐耿钊刘争晖钟海舰樊英民曾雄辉周桃飞邱永鑫王建峰徐科
导电原子力显微镜的探针以及采用此探针的测量方法
一种导电原子力显微镜的探针，包括悬臂探针基底、针尖和设置在针尖表面的导电薄膜，所述导电薄膜的材料是石墨烯。本发明进一步提供了采用上述探针测量半导体局域导电性质的方法以及测量太赫兹波段无孔针尖近场光学探测的方法。本发明利用...
徐耿钊刘争晖钟海舰樊英民徐科
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一种同时测量表面磁性和表面电势的方法
本发明提供一种同时测量表面磁性和表面电势的方法，包括如下步骤：（1）磁性原子力显微镜探针以第一本征频率振动，待测样品进行第一次扫描，获得待测样品表面形貌曲线；（2）将磁性原子力显微镜探针抬起预定高度，以第一本征频率振动，...
钟海舰刘争晖徐耿钊樊英民黄增立徐科
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探针型压力传感器及其制作方法
本发明提供一种探针型压力传感器及其制作方法，所述探针型压力传感器包括声表面波延迟线及探针，所述声表面波延迟线包括压电衬底和制作在压电衬底上的声表面波发生器及声表面波接收器，所述声表面波发生器与所述声表面波接收器沿声表面波...
樊英民刘争晖许耿钊钟海舰黄增立徐科
半导体材料表面微区光电响应测量装置及测量方法
本发明提供一种半导体材料表面微区光电响应测量装置及测量方法，所述装置包括样品台，用于放置待测样品；原子力显微镜导电探针，与待测样品接触，原子力显微镜导电探针、待测样品及电源形成电学回路；波长连续可调的单色光路系统，使波长...
樊英民刘争晖徐耿钊钟海舰黄增立徐科
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一种杠杆夹持装置
本发明提出一种杠杆夹持装置，包括基板，以及设置于所述基板上的承载机构和夹持机构；所述夹持机构包括支座以及活动固定于所述支座上的杠杆；所述杠杆包括一抵持端，其中，所述杠杆具有所述抵持端与所述承载机构抵持的第一状态、以及所述...
徐耿钊刘争晖钟海舰樊英民徐科
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多层材料的减薄装置及减薄待测样品的方法
本发明提供多层材料的减薄装置及减薄待测样品的方法，属于半导体测试领域。装置包括反应腔室、原子力显微镜、电子显微镜和样品台，样品台、原子力显微镜、电子显微镜均位于反应腔内；所述减薄待测样品的方法步骤为：将一样品置于反应腔室...
刘争晖徐耿钊钟海舰樊英民曾雄辉王建峰周桃飞邱永鑫徐科
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