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王海祥
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
供职机构:
大连理工大学
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
陈兆鹏
大连理工大学
张然
大连理工大学
褚金奎
大连理工大学
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机构
2篇
大连理工大学
作者
2篇
王海祥
1篇
褚金奎
1篇
张然
1篇
陈兆鹏
年份
1篇
2013
1篇
2012
共
2
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一种基于柔性基底复制纳米压印模板的方法
本发明一种基于柔性基底复制纳米压印模板的方法,属于纳米压印技术领域中的纳米压印模板。该方法包括以下步骤:利用原始模板对柔性基底IPS进行压印,复制纳米图形;在柔性基底IPS上有纳米图形的一面溅射一层金属层;将溅射有金属层...
褚金奎
王海祥
张然
陈兆鹏
文献传递
纳米压印镍模板的复制工艺研究
纳米压印光刻技术是由美籍华裔科学家斯蒂芬·周于20世纪90年代提出来的一种全新的微纳图形复制工艺技术。该技术利用1:1的无尺寸失真复制工艺,突破了传统光学光刻受光的波长极限影响的瓶颈,可以复制尺寸从几纳米到几百微米大小的...
王海祥
关键词:
纳米压印
微电铸
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