王禹茜
- 作品数：3 被引量：25H指数：2
- 供职机构：西安建筑科技大学材料与矿资学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重大科学仪器设备开发专项国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：电子电信化学工程更多>>
- 飞秒激光工艺参数对加工TiC陶瓷微孔的影响被引量：20
- 2014年
- 用不同能量密度的飞秒激光在不同辅助气压下对TiC陶瓷进行微孔加工,采用扫描电子显微镜(SEM)、微米X射线三维成像仪(Micro-CT)和X射线光电子能谱(XPS)对微孔的形貌和化学键进行了研究。结果表明,在不同能量密度下,微孔入口圆度均不小于99%,微孔出口圆度随能量密度的增加而增大,随后趋于稳定,最大出口圆度为95%。微孔锥度随辅助气压增大而增大,当能量密度为0.51J/mm2、辅助气压为0.3MPa时,微孔锥度最佳,其长轴锥度为-0.13°,短轴锥度为0.77°。激光加工过程中,C-C键、Ti-C键断裂,在微孔附近形成包含金属Ti、Ti2O3和TiO2等物质的残渣。最后对激光与材料的作用机制进行了探讨。
- 王禹茜张军战刘永胜杨小君李玮楠王春辉
- 关键词：超快光学飞秒激光微孔加工能量密度
- 飞秒激光加工TiC陶瓷的工艺研究
- 飞秒激光加工具有材料适应性广、非接触、无机械剪切应力、精度高、无污染、高效率等优点,是最理想的微加工手段之一。 本文用飞秒激光加工TiC陶瓷,研究了能量密度、重复频率、加工圈数、辅助气压和进给速度等工艺参数对 TiC陶...
- 王禹茜
- 关键词：飞秒激光微加工能量密度
- 文献传递
- 飞秒激光进给速度对TiC陶瓷微孔加工的影响被引量：6
- 2015年
- 采用螺旋打孔技术,在不同的激光进给速度下在TiC陶瓷上加工了微孔。用扫描电子显微镜分析了微孔形貌,利用能量色散谱仪研究了激光加工前后材料化学成分的变化,并结合X射线光电子能谱术(XPS)讨论了材料化学键的变化,探讨了利用飞秒激光加工TiC陶瓷过程中材料的去除机理。结果表明:所得到的微孔具有较好的形貌特征,孔边缘没有出现明显的微裂纹。微孔入口圆度达98%以上,入口直径略小于出口直径。激光进给速度对入口处孔边缘的微观形貌影响较大。进给速度较低时,激光切蚀区域出现平行的条纹状周期结构,随着进给速度的增加,表面以混沌的颗粒状结构为主。在较低或较高的进给速度下,重铸层都会出现更为剧烈的氧化现象,实验显示最佳的进给速率应在6.4μm/s左右。XPS分析显示材料的去除主要是通过多光子吸收,在加工过程中发生Ti-C键的断裂产生的Ti离子被氧化后会生成TiO2和Ti2O3。
- 张军战王禹茜张颖刘永胜
- 关键词：飞秒激光微孔加工进给速度
