罗先刚
- 作品数：652 被引量：296H指数：8
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 纳光电子与光子芯片研究:发展与挑战被引量：1
- 2023年
- 光子芯片被认为是“后摩尔时代”信息领域发展的核心技术之一。纳光电子学的发展为实现更高性能和更高集成度的光子芯片技术奠定了基础。同时,光子芯片对于突破电子芯片“卡脖子”的现实问题具有重要战略意义,有助于推动我国在未来光电信息产业的国际竞争中走出“缺芯”困境,并取得先发优势。基于国家自然科学基金委员会第312期“双清论坛”,本文总结了我国在纳光电子与光子芯片研究方面的重大需求,回顾了纳光电子与光子芯片领域近年来通过物理、材料、信息、制造等学科交叉融合所取得的主要进展和成就,凝炼了该领域未来5~10年的重大关键科学问题,探讨了前沿研究方向和科学基金资助战略。
- 龚旗煌罗先刚刘伍明戴道锌李涛肖云峰唐华何杰刘克
- 关键词：光子芯片
- 一种基于悬链线的宽带可调三维电磁吸收材料
- 本发明提供一种基于悬链线的宽带可调三维电磁吸收材料，包括一层柔性电阻膜和位于电阻膜下方的金属反射板；其中，电阻膜的周期可以任意调节并且在重力的作用下形成对应的三维悬链线结构。利用不同周期下三维悬链线结构对入射电磁波的不同...
- 罗先刚蒲明博马晓亮黄奕嘉李雄
- 文献传递
- 光刻物镜自动气压补偿装置
- 本实用新型公开了一种光刻物镜自动气压补偿装置,它克服了现存技术只能对数值孔径不大的物镜进行环境气压引起的焦面漂移补偿的缺陷。它由内部通道连通光刻物镜内的各透镜而形成与外界大气隔绝的内腔,采用压力传感器检测、单片机控制电路...
- 陈旭南余国彬张津罗先刚
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- 一种波导共振耦合表面等离子体光场的激发和调控方法
- 本发明公开了一种波导共振耦合表面等离子体光场的激发和调控方法，采用器件主要由透明基底、纳米结构层和波导共振多层膜构成。对于确定波长的平面波照射透明基底，透明基底上的纳米结构层将照明平面波衍射为各级次平面波。利用波导共振多...
- 罗先刚王长涛赵泽宇王彦钦姚纳胡承刚蒲明薄王炯刘利芹杨磊磊
- 文献传递
- 多铰链纳米压印压模倾斜校正机构
- 多铰链纳米压印压模倾斜校正机构，由上连接套(1)、上铰链(2)、下铰链(3)、压模(5)和压模卡盘(4)组成，上连接套(1)与上铰链(2)的铰链座连接，下铰链(3)的铰链座与上铰链(2)的上中间框连接，下铰链(3)的下中...
- 罗先刚陈旭南李海颖胡承刚
- 文献传递
- 一般波长或长波长光接触接近纳米光刻光学装置
- 一般波长或长波长光接触接近纳米光刻光学装置，由光源(3)、镜组(2)、反射镜(1)和镜组(4)组成的均匀照明系统照明掩模，并使接触接近放置的硅片(7)上的抗蚀剂涂层(6)感光，其特征在于：均匀照明系统的光源(3)是一般波...
- 陈旭南罗先刚田宏石建平
- 文献传递
- 超微细光刻中偏振光成像研究被引量：4
- 2003年
- 在大数值孔径、短波长的投影光学光刻系统中,对S偏振光、P偏振光和非偏振光在硅片 上的成像进行了研究,发现S偏振光成像具有最高的光强对数斜率值和最大的对比度;模拟了S偏振光通过掩模的电场分布机理,结果表明,可以通过调制照明光的偏振性来提高成像对比度和分辨力。
- 余国彬姚汉民罗先刚严佩英
- 关键词：偏振光像质数值孔径
- 一种动态可调的多频电磁吸波材料
- 本发明提供一种动态可调的多频电磁吸波材料，该材料自下而上依次包括：底层金属反射层，介质间隔层以及顶层金属亚波长结构阵列。所述介质间隔层所用材料为GST相变材料，本发明通过电激发、光激发或热激发的方式改变GST材料的晶态(...
- 罗先刚马晓亮蒲明博赵泽宇王彦钦李雄高平
- 文献传递
- 改善深亚微米光刻图形质量的途径被引量：1
- 1997年
- 本文对目前用于提高亚半微以影光刻机成像分辨力、增大焦深的一些新技术；大数值孔径和短波长技术、倾斜照明技术、相移掩模技术、光瞳波技术，多焦面曝光技术以及表面成技术的和现状作了较为详细的阐述，提出了增大０．３５μｍ图表的分辨力和焦深的途径。
- 姚汉民罗先刚
- 关键词：微电子学相移掩模光刻IC
- 二元光栅照明研究被引量：4
- 1998年
- 采用部分相干成象理论对二元光栅照明进行了较为详细的研究。分析了二元光栅照明对分辨力、焦深、照明能量和照明均匀性的影响，并通过实验研究验证了二元光栅对分辨力和焦深有较大程度的提高。
- 罗先刚陈旭南姚汉民冯伯儒
- 关键词：分辨率焦深照明光刻
