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苏娟

作品数:12 被引量:0H指数:0
供职机构:北京大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:理学电气工程电子电信一般工业技术更多>>

文献类型

  • 6篇会议论文
  • 4篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 2篇电气工程
  • 2篇理学
  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 6篇阳极键合
  • 6篇键合
  • 3篇阳极
  • 3篇原子钟
  • 3篇键合工艺
  • 3篇封装
  • 2篇氮化
  • 2篇氮化物
  • 2篇电离规
  • 2篇电源
  • 2篇样片
  • 2篇直流高压
  • 2篇直流高压电源
  • 2篇质谱
  • 2篇质谱仪
  • 2篇隧穿
  • 2篇碳纳米管
  • 2篇自对准
  • 2篇自对准工艺
  • 2篇纳米

机构

  • 12篇北京大学

作者

  • 12篇苏娟
  • 8篇郭等柱
  • 6篇张耿民
  • 5篇汪中
  • 3篇陈徐宗
  • 3篇赵兴钰
  • 2篇张健
  • 2篇沈波
  • 2篇王涛
  • 2篇王平
  • 2篇王新强
  • 2篇盛博文
  • 2篇邓科
  • 1篇何凯旋
  • 1篇刘璐
  • 1篇郭涛

传媒

  • 1篇真空电子技术
  • 1篇第十四届全国...
  • 1篇中国真空学会...
  • 1篇2009全国...

年份

  • 1篇2020
  • 1篇2018
  • 2篇2013
  • 3篇2011
  • 3篇2009
  • 2篇2007
12 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
铷原子生成条件的飞行时间质谱研究与微型铷气室封装工艺探索
本文主要介绍利用自行研制的脉冲激光-飞行时间质谱仪,研究铷原子的两种原位产生方式,为微型原子气室封装工艺提供参考和工艺参数。
苏娟孙茂徐郭等柱赵兴钰张耿民
关键词:铷原子飞行时间质谱仪
基于阳极键合工艺的芯片级原子钟85Rb微型气室封装
微型气室的制作是微型原子钟和微型磁力计等器件研制中不可或缺的关键技术。本课题组基于阳极键合技术,在打孔硅片的一面先键合了Pyrex玻璃,通过叠氮化钡和氯化铷的化学反应将生成的金属铷和缓冲气体充入硅片小孔中,然后在硅片另外...
苏娟邓科何凯旋汪中郭等柱
关键词:阳极键合
文献传递
基于阳极键合工艺的微型气室封装
微型气室的制作是微型原子钟和微磁力计等器件研制中不可或缺的关键技术。国际上只有为数不多的一些研究机构在从事这方面研究工作,国内目前还没有相关研究报道。我们课题组承担了863项目的相关课题,在微型气室的制作方面开展了探索性...
焦洁苏娟郭等柱张耿民汪中
关键词:阳极键合封装原子钟
CPT微型原子钟研究进展
本文给出了北京大学课题组CPT微型原子钟的研究进展,主要包括小型化锁相环伺服电路的设计,低功耗低噪音VCO的制作,微型化铷原子气室的封装等等。其中伺服电路尺寸为12cm2,能够完成系统自动寻峰并锁定的功能。VCO的自由运...
邓科郭涛苏娟郭等柱刘璐陈徐宗汪中
关键词:CPT介质振荡器MEMS
文献传递
MgO纳米颗粒-碳纳米管复合膜的场发射及其微型电离规应用
碳纳米管(CNTs)因具有较大的长径比和优异的电学和力学性能,其作为场发射电子源的潜在应用研究已经有二十年的历史,近几年的热点集中在最有应用前景的微型X射线源的研究.虽然CNTs的场发射开启电场小、发射电流密度大的优点很...
苏娟郭等柱
一种氮化物平面结构共振隧穿二极管及其制备方法
本发明公开了一种氮化物平面结构共振隧穿二极管及其制备方法。本发明的共振隧穿二极管包括:衬底、发射极掺杂层、发射极非掺隔离层、双势垒结构、集电极非掺隔离层、集电极掺杂层、发射极电极、集电极电极以及钝化层;本发明采用自对准工...
王新强王丁沈波杨流云王平王涛陈兆营盛博文张健谭为苏娟石向阳
文献传递
基于阳极键合工艺的微型气室封装
微型气室的制作是微型原子钟和微磁力计等器件研制中不可或缺的关键技术。国际上只有为数不多的一些研究机构在从事这方面研究工作,国内目前还没有相关研究报道。我们课题组承担了863项目的相关课题,在微型气室的制作方面开展了探索性...
焦洁苏娟郭等柱张耿民汪中
关键词:阳极键合封装原子钟
文献传递
一种微型原子气室封装工艺方法
一种微型原子气室封装工艺方法,包括:样品室、压力杆、样片、样品台、加热丝与测温探头、真空泵连接口、充气进口、直流高压电源、电压表、电阻和其它测控装置,包括步骤1材料的选取,步骤2材料的加工,步骤3样片的清洗,步骤4第一面...
郭等柱苏娟汪中陈徐宗张耿民赵兴钰
文献传递
CNTs-TiO_2复合薄膜的场发射及其在电离规中的应用
2011年
介绍一种制备碳纳米管(CNTs)薄膜的方法—擦涂法。利用这种方法制备了CNTs薄膜以及CNTs-TiO2复合薄膜,对其场发射性能进行了研究,发现CNTs+(7%~10%(质量比))TiO2复合薄膜的场发射性能与纯CNTs薄膜相比有较大改善,开启电场由2.5V/μm降低到1.3V/μm,阈值电场由4V/μm降低到3.1V/μm,场发射的均匀性与稳定性也有显著的提高。利用CNTs+7%TiO2薄膜样品作为电离真空规的冷阴极,实现了在2×10-2~3×10-5 Pa范围内的近似线性响应,灵敏度约为3.36Pa-1。这种电离真空规具有体积小、低能耗的特点。
何凯旋苏娟郭等柱张耿民
关键词:碳纳米管TIO2纳米颗粒场发射电离规
一种氮化物平面结构共振隧穿二极管及其制备方法
本发明公开了一种氮化物平面结构共振隧穿二极管及其制备方法。本发明的共振隧穿二极管包括:衬底、发射极掺杂层、发射极非掺隔离层、双势垒结构、集电极非掺隔离层、集电极掺杂层、发射极电极、集电极电极以及钝化层;本发明采用自对准工...
王新强王丁沈波杨流云王平王涛陈兆营盛博文张健谭为苏娟石向阳
文献传递
共2页<12>
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