董典红
- 作品数：9 被引量：16H指数：3
- 供职机构：北京工业大学电子信息与控制工程学院更多>>
- 发文基金：北京市教委资助项目北京市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 激光在MEMS键合技术中的应用被引量：3
- 2004年
- 键合技术已经广泛地应用于微电子机械系统(MEMS)领域,但传统的键合技术由于其缺点,限制了其应用范围,而激光以其独特的优势在键合技术中得到了人们的重视。文章介绍了激光在键合技术中的应用及其原理,以及今后发展的方向。
- 杨道虹董典红徐晨张剑铭阳启明沈光地
- 关键词：微电子机械系统硅直接键合激光
- 用于高灵敏度红外探测器的超薄硅膜的研制被引量：1
- 2005年
- 超薄、平整的硅膜对于制作高灵敏度红外探测器是非常重要的。这种超薄硅膜的各向异性腐蚀技术,包括有机溶液EPW和无机溶液KOH及KOH+IPA(异丙醇)。从腐蚀速率、腐蚀表面质量、腐蚀停特性、腐蚀边缘形貌及腐蚀工艺的角度分析比较了两种腐蚀系统,分别制作出了约1μm厚的平整超薄硅膜,并研究了不同掩膜材料在腐蚀液中的抗蚀性,为高灵敏度红外探测器的制作奠定了工艺基础。
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- 关键词：各向异性腐蚀
- 新型室温中远波段红外探测器的关键工艺研究被引量：1
- 2004年
- 介绍了一种基于MEMS技术的新型室温中远红外波段硅基电容式红外探测器原理和制作工艺过程,并详细介绍了针对单面光刻机而采用的对准孔双面对准和键合对准技术、浓硼扩散EPW腐蚀停止技术制备超薄敏感硅膜以及薄膜的疏水处理等关键工艺。还对各环节所遇到的问题和其相应的解决方法进行了详细地阐述。
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- 关键词：MEMS红外探测器键合光刻
- 一种新型键合工艺的理论和实验研究被引量：2
- 2004年
- 为了实现在较低超净环境下的硅／硅直接键合,提出了在乙醇的环境中进行硅／硅键合的方法,并建立了合理的物理模型,在常温、常压和低于10万级超净环境下,用普通的国产硅片进行了无水乙醇环境下的硅／硅直接键合实验.键合后进行了拉力强度测试和SEM观测,发现界面没有孔洞,说明键合质量达到了要求.拉力测试结果表明,其键合强度达到了10MPa,初步验证了该方法的可行性.
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- 关键词：微电子机械系统乙醇
- MEMS中的硅/玻璃键合技术研究进展
- 玻璃阳极键合技术已经广泛地应用于MEMS领域,但传统的阳极键合技术由于其缺点,限制了其应用范围.为解决这些问题和满足和些特殊MEMS器件的制作要求,探索研究新的阳极键合技术成为MEMS研究领域的一个新热点,如激光选择区域...
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- 关键词：MEMS
- 激光熔融键合在新型室温红外探测器的应用被引量：2
- 2004年
- 运用Nd:YAG激光在功率300W、光束运动速度为0.05m/s、光束直径为700μm的条件下能得到键合强度平均为9.3MPa的硅/玻璃熔融键合效果。该键合方法能进行选择区域键合,完全避免了由于键合过程中电场给超薄敏感可动微结构带来的畸变甚至失效,为新型室温红外探测器的研制奠定了良好的工艺基础。
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- 关键词：MEMSND:YAG激光键合
- 新型气动室温红外探测器制备及其超薄敏感膜研究
- 红外探测器作为红外探测系统核心部件,始终是红外技术发展的中心.随着红外实验和理论的发展,新器件不断涌现.今天的探测器制备已成为涉及物理、材料等基础科学和光、机械、微电子及计算机等多领域的综合性科学技术.红外探测器按工作原...
- 董典红
- 关键词：各向异性腐蚀新型红外探测器MEMS
- 文献传递
- 新型红外探测器可动薄膜微腔的腐蚀工艺研究被引量：5
- 2003年
- 基于气体直接吸收机理、微机械技术实现的气动红外探测器是对中远波段实现室温探测的新型红外探测器。该探测器的关键结构———微气腔和可动薄膜的腐蚀工艺研究对整个器件的制作有重要意义。根据探测器结构提出了对腐蚀工艺的要求,采用EPW湿法腐蚀的工艺,通过实验研究器件结构制作的最佳腐蚀条件和腐蚀速度,保证了工艺的可控性和器件结构的质量。
- 李兰董典红刘铮邓军徐晨邹德恕沈光地
- 关键词：微机械红外探测器湿法腐蚀
- 硅腐蚀停止技术制备超薄硅膜中的分形现象被引量：3
- 2005年
- 利用浓硼扩散腐蚀停止技术制备自由悬空硅薄膜时 ,在薄膜的表面观察到了呈分形生长的反应生成络合物聚集结构 .研究表明 ,薄膜表面的生成物的分形属于典型的有限扩散集团凝聚模型 ,其分形维数值约为 1 6 6 7.实验还发现 。
- 杨道虹徐晨董典红张剑铭阳启明金文贤沈光地
- 关键词：分形扫描电镜分形维数
