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文献类型

  • 5篇专利
  • 3篇期刊文章
  • 1篇科技成果

领域

  • 2篇机械工程
  • 2篇电子电信

主题

  • 6篇划片
  • 6篇划片机
  • 3篇转角精度
  • 3篇自补偿
  • 3篇蜗轮
  • 3篇齿面
  • 2篇伺服
  • 2篇伺服系统
  • 1篇电主轴
  • 1篇调速
  • 1篇调速方法
  • 1篇真空发生器
  • 1篇直流
  • 1篇神经网
  • 1篇神经网络
  • 1篇伺服系统控制
  • 1篇清洗机
  • 1篇主轴
  • 1篇误差补偿
  • 1篇系统控制

机构

  • 9篇沈阳仪表科学...

作者

  • 9篇郝鑫
  • 9篇马岩
  • 8篇白雪峰
  • 5篇荣宇
  • 4篇白宇
  • 4篇周志刚
  • 3篇李建宁
  • 3篇张明明
  • 3篇张锡广
  • 2篇鞠仁忠
  • 2篇李艳丽
  • 2篇孙家全
  • 2篇余胡平
  • 1篇袁慧珠
  • 1篇肇群
  • 1篇赵欣彤
  • 1篇杨阳
  • 1篇张宇

传媒

  • 2篇中国集成电路
  • 1篇仪表技术与传...

年份

  • 2篇2014
  • 1篇2013
  • 4篇2012
  • 2篇2010
9 条 记 录,以下是 1-9
排序方式:
划片机用自补偿转角装置
本实用新型涉及一种划片机用自补偿转角装置,从根本上解决现有划片上使用的蜗轮蜗杆传动机构存在的易磨损、震动大、致使划片机转角精度及加工精度低等问题,它包括组装在中心轴上的组装式蜗轮及与组装式蜗轮相互啮合的蜗杆,其技术要点是...
马岩李建宁张锡广余胡平李艳丽周志刚白雪峰郝鑫
文献传递
高速空气静压直流电主轴的调速方法
2012年
介绍一种高速空气静压直流电主轴在划片机中的应用。以往大量采用交流电主轴切割,但是其在使用中有发热量大,丢转数等缺点,直接影响切割质量。为了克服上述问题,我们采用直流电主轴进行切割,在使用中需要对直流电主轴调速。以往采用变频器面板固定频率调速,但是在使用中比较麻烦。所以我们采用计算机接口直接进行直流高频变频器的调速控制,实时监测变频器的运行状态,使其在整个系统中有很强的实用性。
白雪峰郝鑫马岩白宇荣宇
关键词:划片机串口通信
划片机用自补偿转角装置
本发明涉及一种划片机用自补偿转角装置,从根本上解决现有划片上使用的蜗轮蜗杆传动机构存在的易磨损、震动大、致使划片机转角精度及加工精度低等问题,它包括组装在中心轴上的组装式蜗轮及与组装式蜗轮相互啮合的蜗杆,其技术要点是:组...
马岩鞠仁忠张明明白雪峰郝鑫李建宁张锡广孙家全周志刚
文献传递
自动清洗的变速控制方法
2012年
全自动划片机是融合精密机械、电子、软件、材料、自控、光电、元器件等多学科技术为一体的IC装备。高速清洗系统作为全自动划片产品的重要组成部分,直接影响着设备整体工作的质量和效率。本文对清洗系统的变速控制和精确回零技术做了初步的探讨。伺服系统采用内部速度模式的变速控制方法,解决了大转动惯量下位置控制无法稳定的问题。清洗完成后,系统寻址高精度传感器,完成清洗台上下料的回零定位。
郝鑫白雪峰白宇马岩荣宇
关键词:伺服系统
划片机用自补偿转角装置
本发明涉及一种划片机用自补偿转角装置,从根本上解决现有划片上使用的蜗轮蜗杆传动机构存在的易磨损、震动大、致使划片机转角精度及加工精度低等问题,它包括组装在中心轴上的组装式蜗轮及与组装式蜗轮相互啮合的蜗杆,其技术要点是:组...
马岩鞠仁忠张明明白雪峰郝鑫李建宁张锡广孙家全周志刚
文献传递
晶圆清洗机
一种晶圆清洗机,包括主壳体、固定在主壳体上的清洗部和伺服系统,其技术要点是:所述主壳体内设有由伺服系统控制的伺服电机,伺服电机的输出轴上设有贯穿主壳体和清洗部连接处的真空轴,真空轴上设有真空发生器,真空轴末端设有吸盘;清...
马岩白雪峰荣宇郝鑫
文献传递
自对准划片工艺技术及设备
白宇袁慧珠张明明马岩余胡平李艳丽郝鑫
1、所属科学技术领域先进制造业。2、主要科技内容以具有自对准性能的8英寸和6英寸半导体自动划片装备新产品为研制开发对象,针对半导体传感器芯片、IC、LED、太阳能电池等多种材料基片的划片需求,攻克精密机械结构设计、精度设...
关键词:
划片机
1.本外观设计产品的名称:划片机。;2.本外观设计产品的用途:本外观设计产品用于陶瓷片、金属、半导体材料等的划片和切割。;3.本外观设计产品的设计要点:立体图所示的产品外形。;4.最能表明本外观设计设计要点的图片或照片:...
荣宇潘荔力马岩白雪峰郝鑫杨阳张宇赵欣彤周志刚王志焱
文献传递
基于神经网络的划片机光栅传感器补偿方法被引量:4
2013年
提出了一种针对划片机的丝杠螺距误差补偿的新方法。采用光栅传感器的技术,克服传统补偿方法对于回程补偿不够准确的缺点;采用神经网络的算法,研制了一套适合的数学模型,进行专用分析拟合。在实际划片生产装配中,使用文中的方法,降低了螺距补偿过程中丝杠重复定位误差带来的影响,达到了良好的效果。
马岩白雪峰郝鑫荣宇肇群白宇
关键词:划片机光栅传感器神经网络误差补偿
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