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陈军

作品数：3 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
相关领域：医药卫生电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电子束曝光
  • 1篇电子束曝光机
  • 1篇图形发生器
  • 1篇曝光机
  • 1篇微机
  • 1篇LSI

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇陈军
  • 1篇吴石增

传媒

  • 1篇微电子学与计...

年份

  • 1篇1995
共 3 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
电子束曝光机特殊图形辅助发生器被引量：1
1995年
介绍电子束曝光机的图形发生器系统中用以解决硬件化高速扫描特殊图形和硬件过于复杂的特殊图形辅助发生器。叙述了它的工作原理、硬件配置和软件设计及特殊图形的描述参数和计算公式。
吴石增陈军
关键词：电子束曝光机图形发生器LSI微机
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共1页<1>
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