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马天宇

作品数：32 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术文化科学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 32篇中文专利

领域

  • 5篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信
  • 1篇文化科学

主题

  • 25篇版图
  • 20篇电路
  • 17篇互连
  • 16篇电路版图
  • 12篇冗余
  • 12篇互连线
  • 10篇集成电路
  • 8篇电容
  • 8篇化学机械抛光
  • 8篇机械抛光
  • 8篇集成电路版图
  • 6篇电容提取
  • 5篇平坦性
  • 5篇芯片
  • 5篇金属
  • 5篇计算方法
  • 4篇电子设计
  • 4篇电子设计自动...
  • 4篇设计自动化
  • 4篇模拟过程

机构

  • 32篇中国科学院微...

作者

  • 32篇马天宇
  • 32篇陈岚
  • 10篇杨飞
  • 8篇阮文彪
  • 8篇叶甜春
  • 8篇孙艳
  • 6篇李志刚
  • 6篇方晶晶
  • 2篇刘宏伟
  • 2篇张贺
  • 2篇曹鹤
  • 2篇胡超

年份

  • 1篇2018
  • 2篇2017
  • 7篇2016
  • 1篇2015
  • 6篇2014
  • 7篇2013
  • 6篇2012
  • 2篇2011
共 32 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
化学机械抛光方法及芯片版图等效特征参数提取方法
本发明公开了一种化学机械抛光方法及芯片版图等效特征参数提取方法，包括：将芯片版图划分成多个窗格，提取各个窗格的特征参数；以各个窗格的特征参数为索引，查询预设类型号，判断各个窗格的类型号，并将相同类型号的窗格定义为同一集群...
陈岚马天宇孙艳
一种提取互连线方块电阻的方法和装置
本发明提供一种提取互连线方块电阻的方法，设计并制造包括若干个区域的测试版图，通过测量测试版图每个区域的表面形貌信息和电阻提取测试版图每个区域的等效厚度和等效电阻率，结合模拟工具提取待提取版图中不同互连线线宽和/或线间距区...
马天宇陈岚杨飞
一种互连线平均失效时间计算方法及系统
本发明实施例公开了一种互连线平均失效时间计算方法及系统。所述方法包括：确定目标电路版图中目标互连线的实际区域横截面的面积，所述实际区域为所述目标互连线原始区域中损失区域以外的区域；获取经过所述目标互连线的电流数据；以所述...
马天宇陈岚阮文彪
一种化学机械抛光模拟方法
本发明提供了一种化学机械抛光模拟方法，包括，选择集成电路版图中的任意一根互连线为研究对象；以所述研究对象为基准，在所述集成电路版图所在的平面内，分别向所述研究对象的至少四个方向延展一个平坦化长度，形成所述研究对象的划分窗...
马天宇陈岚孙艳
文献传递
一种对互连结构进行电容提取的方法
本发明提供一种对互连结构进行电容提取的方法，应用于一导体，导体表面包括多个三角形边界元；每一个三角形边界元中设置至少一个变动点，包括：获取各个三角形边界元的变动点坐标；在每个变动点上设置一个独立随机变量和一个非独立随机变...
陈岚马天宇叶甜春
文献传递
冗余金属填充方法和集成电路版图结构
本发明提供了一种冗余金属填充方法，在需要填充冗余金属的区域填充若干个冗余金属，所述若干个冗余金属中，包括第一冗余金属和第二冗余金属，每个第一冗余金属的填充面积大于每个第二冗余金属的填充面积，所述第二冗余金属位于所述第一冗...
马天宇陈岚方晶晶
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化学机械抛光方法及芯片版图等效特征参数提取方法
本发明公开了一种化学机械抛光方法及芯片版图等效特征参数提取方法，包括：将芯片版图划分成多个窗格，提取各个窗格的特征参数；以各个窗格的特征参数为索引，查询预设类型号，判断各个窗格的类型号，并将相同类型号的窗格定义为同一集群...
陈岚马天宇孙艳
文献传递
一种提取互连线方块电阻的方法和装置
本发明提供一种提取互连线方块电阻的方法，设计并制造包括若干个区域的测试版图，通过测量测试版图每个区域的表面形貌信息和电阻提取测试版图每个区域的等效厚度和等效电阻率，结合模拟工具提取待提取版图中不同互连线线宽和/或线间距区...
马天宇陈岚杨飞
文献传递
一种化学机械抛光模拟方法
本发明提供了一种化学机械抛光模拟方法，包括，选择集成电路版图中的任意一根互连线为研究对象；以所述研究对象为基准，在所述集成电路版图所在的平面内，分别向所述研究对象的至少四个方向延展一个平坦化长度，形成所述研究对象的划分窗...
马天宇陈岚孙艳
集成电路版图冗余金属填充的方法及集成电路
本发明实施例提出了一种集成电路版图冗余金属填充的方法，所述集成电路版图包括信号线和冗余金属，其中所述信号线之间的冗余金属的密度不变，调整所述冗余金属的分布，减小所述冗余金属对信号线耦合电容的影响。本发明实施例另一方面还提...
杨飞陈岚阮文彪李志刚胡超马天宇
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