马炳和
- 作品数：224 被引量：322H指数：10
- 供职机构：西北工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国航空科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程航空宇航科学技术电子电信更多>>
- 一种硅基微型侧喷口合成射流器及其制作方法
- 本发明公开了一种硅基微型侧喷口合成射流器及其制作方法。公知的该类型合成射流器采用湿法刻蚀技术，喷口的竖直剖面几何形状是两个尖角相对的锥形，加工难度大、射流能量低。本发明采用感应耦合等离子刻蚀将喷口加工在腔体侧璧并与之贯通...
- 邓进军王树山马炳和侯辉苑伟政姜澄宇
- 文献传递
- 含大规模端口的MEMS宏模型提取及角度参数化
- 2010年
- 针对含大规模输入输出端口的MEMS结构,提出分块叠加Arnoldi方法提取其宏模型,针对MEMS器件中广泛存在几何形状相同而初始方位不同的结构,采用矩阵坐标变换实现宏模型的角度参数化,解决宏模型的重复提取问题。最后,结合一种微型可编程光栅的设计验证了宏模型的效率与精度,与有限元仿真结果进行比较,基于宏模型的MEMS器件系统级仿真结果相对误差小于2%,时域仿真速度提高了45倍。
- 徐景辉苑伟政常洪龙虞益挺马炳和
- 关键词：微机电系统宏模型叠加法系统级仿真
- MEMS技术在流动分离主动控制中的应用被引量：4
- 2010年
- 文章面向飞行器翼型绕流的控制,设计开发了气泡型和合成射流等2类采用MEMS技术制造的微型致动器,并对其性能进行了测试。结合三角翼及二元超临界翼型,通过风洞实验考察了MEMS微型致动器在翼型流动分离主动控制的应用效果。结果表明,微致动器能够有效控制边界层流动状态,改变翼型绕流的宏观流场,实现增升减阻以及产生辅助力矩等控制目标。
- 邓进军苑伟政罗剑马炳和姜澄宇
- 关键词：致动器微机电系统
- 一种可用于高温环境下壁面剪应力测量的底层隔板微传感器及其制造方法
- 本发明公开了一种可用于高温环境下壁面剪应力测量的底层隔板微传感器及其制造方法，属于传感器技术领域。该微传感器主要包括凸出隔板2、悬臂梁3、梁根部4、U型环凹槽5、力敏电阻6、基体7、导线8和焊盘9；该底层隔板微传感器的制...
- 马炳和马骋宇邓进军
- 文献传递
- 用柔性微型传感器阵列测量边界层分离点的实验研究
- 2006年
- 结合边界层分离点附近的剪应力变化规律,提出了在飞行器外表面贴附微型传感器阵列的分离点检测方法,并给出了相应微型剪应力传感器阵列的设计方案。同时提出了基于三极管恒流源电流镜驱动电源设计和滤波衰减电路设计方案,并在NACA0012标准翼型上实现了边界层分离检测系统集成,最后,在低速风洞实验中对传感器阵列的性能和传感器阵列输出信号的处理判断方式进行验证,对实验结果的分析表明本研究制造的微型热敏传感器阵列能够实现对流体边界层分离位置的在线测量。
- 刘奎苑伟政马炳和邓进军姜澄宇
- 关键词：风洞实验边界层分离传感器阵列
- 微机械器件形状与尺寸的图像测量研究
- 本文采用面阵CCD作为图像传感器,结合微机械器件结构尺寸的测量特点,建立非接触式无损图像测量系统,并给出了典型平面几何尺寸的测量原理和算法。实验结果表明系统具有良好的稳定性和较高的精度。
- 邓进军苑伟政李晓莹马炳和
- 关键词：微机械器件图像测量
- 一种柔性热敏薄膜电阻阵列的制作方法
- 本发明公开了一种柔性热敏薄膜电阻阵列的制作方法，属于微机电系统(MEMS)领域。该方法首先在硅片上沉积一层牺牲层；在其上旋涂PI预聚体，经热固化形成PI薄膜；然后旋涂光刻胶，光刻图形化后溅射所需的金属热敏薄膜层；采用剥离...
- 姜澄宇马炳和傅博董拴成
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- 准分子激光直接刻蚀单晶硅研究被引量：6
- 2000年
- 与传统的投影曝光微细加工方法相比 ,激光直写具有高柔性、低成本和胜任三维微型结构加工的优点。采用非稳腔的聚焦准分子激光 ( Kr F,λ=2 4 8nm)对单晶硅材料进行直接刻蚀 ,从微结构刻蚀的形状尺寸及加工过程的热效应等方面研究了准分子激光直接刻蚀单晶硅的加工特性。重点考察了加工中的热效应 ,研究表明准分子激光与被加工材料的相互作用并非完全基于非热机理 ,加工过程亦有热作用参与 ,进一步提出了准分子激光刻蚀加工的“热影响区”概念用以评价和解释准分子激光的“冷加工”特性。同时观察分析了脉冲激光对硅基底造成的破坏现象 ,讨论了冲击作用的成因。
- 马炳和苑伟政李铁军李晓莹王丽戈
- 关键词：准分子激光单晶硅热影响区
- 浮动电容式剪应力微传感器结构设计解析模型被引量：2
- 2017年
- 为提高设计水平和效率,建立了浮动电容式剪应力微传感器结构设计解析模型。该解析模型明晰了微传感器探头结构参数与传感器性能指标之间的关系。针对微传感器量程、固有频率、非线性度、灵敏度和分辨率等指标需求,能够更有针对性地快速得到优化传感器结构方案。结合设计案例,给出了微传感器探头结构的设计方法与流程,设计研制的传感器测试实验结果与解析模型的设计结果相符合。
- 丁光辉马炳和邓进军苑伟政
- 关键词：电容式剪应力解析模型性能指标
- 一种主动隔热方式的柔性热膜剪应力微传感器及其制作方法
- 本发明公开了一种主动隔热方式的柔性热膜剪应力微传感器及其制作方法，属于传感器技术领域。该传感器包括柔性衬底1、中间绝缘层2、下层发热单元3、上层热敏单元4、下层线阻单元5和上层线阻单元6；所述传感器上下层工作过程中通过中...
- 马炳和陈润博严宇超罗剑邓进军
- 文献传递
